真空泵（高真空）的基础知识 螺杆型干式真空泵

什么是螺杆型干式真空泵？

平行的两个螺杆转子与壳体的内壁之间保持轻微间隙的状态下旋转，转子与壳体之间形成的空间沿轴向连续地传递。

气体从进气口被吸入空间内，在将其传送到排气侧以进行排气的过程中被压缩和转移。
螺杆转子包括矩形，螺旋形，凸棱形等。

优点　　从大气压到极限压力的各压力范围内，都可连续运行。

缺点　　由于是单级压缩，内部温度容易升高，有时会受到吸气气体的制约。
螺杆干式真空泵是容积式无油干泵，核心为一对平行阴阳螺杆转子，泵腔内部wan全不使用润滑油、水等工作介质，依靠精密间隙密封实现抽真空；区别于油封螺杆泵、水环泵、涡旋干泵，是半导体、化工、锂电主流粗 / 中真空主泵。

• 阴阳螺杆转子（核心）

  一左旋、一右旋，高精度渐开线 / 摆线齿形，转子间、转子与泵壳留有微米级微小间隙（≤0.01mm），旋转全程互不接触、无摩擦磨损；分等螺距、变螺距两种，变螺距内压缩效率更高、温升更低。

• 同步齿轮箱

  浸油润滑，精准控制两根螺杆同步反向旋转，保证间隙稳定；仅齿轮箱内部用油，泵腔wan全无油。

• 泵体冷却系统

  水冷夹套（工业主流）/ 风冷，带走气体压缩热量；半导体机型多带温控防介质冷凝。

• 轴封、气镇阀、进气过滤

  多重机械密封隔绝腐蚀性气体；气镇通入干燥氮气，抑制水汽、溶剂凝结；前置滤芯阻挡粉尘颗粒。

• 驱动电机

  变频电机居多，宽负载稳定调速，适配连续工艺抽气。