荏原EBARA EV-A10-2S 干式真空泵 现货供应｜风冷无油 半导体 / 锂电工艺泵

【荏原 EBARA EV-A10-2S 现货｜单相风冷多级罗茨干式真空泵，少量库存，可快速交付】

EBARA 荏原 EV-A10-2S 为单相供电风冷型无油干式真空泵，五级非接触罗茨转子结构，泵腔无润滑油，杜绝油气返流污染腔体，是半导体 Load Lock、等离子清洗、锂电、真空烘箱、质谱前级真空优选机型。

✅核心参数抽速：1000L/min；极限真空：气镇关闭可达 1Pa；水蒸气处理量 500g/h供电：单相 AC200-240V；冷却：强制风冷，无需外接冷却水，无漏水风险接口：进气 NW40；整机带脚轮 + 调平底座，移动就位方便自带智能控制面板，具备过载、过热保护，支持报警信号输出，可选氮气吹扫模组，适配微量粉尘、水汽工况

✅产品亮点

1. 风冷免水冷，现场仅需接电即可投产，大幅降低管路改造成本

2. 非接触转子，洁净真空，无油污染，满足精密制程洁净要求

3. 水汽处理能力强，适合频繁破真空、含水汽工艺连续 24h 运行

4. 低振动低噪音，带故障记录，运维简单，符合 SEMI S2、CE 标准

✅典型应用半导体小型蚀刻、负载锁腔体；锂电材料真空干燥；等离子清洗；真空冻干；质谱仪器前级泵；实验室真空腔体

👉我司荏原 EV-A10-2S 现货库存，原装全新，可提供技术选型、安装指导、售后维保方案。有需要可咨询报价、样机测试。