拓荆科技（688072）・薄膜沉积（CVD/ALD）龙头

拓荆科技简介：国内wei一实现 12 英寸 PECVD 量产的企业，CVD 设备国内di一、市占约 60%。产品矩阵含 PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD、Flowable CVD 及混合键合（W2W/D2W）设备。工艺上 PECVD 配套 3D NAND 堆叠、逻辑与先进封装，ALD 适配 High-k 栅介质、ONO 叠层与 HBM，混合键合切入 Chiplet 先进封装；PECVD 设备 2025 年营收约 51.4 亿元（+75%），并获大基金三期入股其控股子公司。
玉崎半导体合作逻辑 —— 本质是 “进口供应链补链"制造设备需要大量进口关键子系统与零部件（真空泵、射频电源、阀门管路、传感器、量测仪表、高纯气体测控等）。玉崎半导体可作为这些进口件的授权 / 渠道供应商，提供原装正品、稳定交期和有竞争力的价格，补齐国产设备整机的进口件供应链。
反向的 “国产化替代配套"：一方面为国产设备 / 产线解决进口关键件卡脖子，另一方面在国产化仍不足的环节继续提供进口替代方案，形成 “国产整机＋进口关键件 / 耗材" 的配套结构。玉崎配套：干式真空泵、真空角阀 / 隔离阀、气体流量计、压力传感器、高纯管路、腔室密封件、前驱体供气配套。