志橙半导体・碳化硅涂层石墨零部件（半导体设备零部件）龙头

志橙半导体简介：国内半导体设备用碳化硅涂层石墨零部件绝对龙头、全球1O大 CVD 碳化硅零部件厂商中唯—的中国厂商（2021 年市占率约 2.02%，据 QY Research）。国级专精特新 "小巨人"，国内唯—量产半导体外延用碳化硅涂层石墨基座的高新技术企业。掌握最高 1500℃、体积超 6m³ 的 CVD 沉积炉温度均一性热场（工艺温度精度 ±3℃）、高精度气体流场控制（膜厚均匀性 ±10μm）、涂层后 pocket 尺寸精度 ±5μm 的精密加工、β-SiC 涂层 "点缺陷" 控制等核心技术并量产，并已实现 200/300mm 晶圆用 SiC 涂层静电吸盘量产（行业研报口径良率约 99.2%），通过中微公司刻蚀设备验证；深度绑定三安光电、华灿光电（全系列 MOCVD 设备）、中微公司等客户，客户均为国有重点企业、上市公司、高校与国有科研机构；2023 年营收 4.86 亿元（+76.01%）、净利润 1.86 亿元（+62.13%），并启用广州总部基地（总投资 3.32 亿元）扩产，布局实体碳化硅、烧结碳化硅、碳化钽涂层石墨等新品，向刻蚀、氧化扩散、晶体生长设备零部件延伸。

工况特点：SiC 涂层沉积在最高 1500℃ 的大尺寸反应腔内进行，温度场必须高度均匀（±3℃），气流不能偏流、压力不能波动；反应腔内通入 NH₃、Cl₂、HCl 等强腐蚀性超高温工艺气体，气体纯度与流量控制要求非常高，管路不允许泄漏；石墨基座承载晶圆以 20 转 / 秒高速旋转，pocket 精度 ±5μm，加工与涂层全程不能有颗粒污染和形变；基座长期在高温、腐蚀环境中损耗，属定期更换的耗材件。

玉崎半导体合作逻辑 —— 本质是 "进口供应链补链"：碳化硅涂层石墨零部件制造依赖大型高温 CVD 涂层炉、精密加工与检测设备，其关键子系统与零部件（真空泵、真空阀、质量流量计、加热电源、高温测温仪表、高纯气体管路阀门、炉腔密封件等）以及上游高纯石墨原材料，大量依赖日欧美进口。玉崎半导体可作为这些进口件的授权 / 渠道供应商，提供原装正品、稳定交期和有竞争力的价格，补齐国产零部件企业的进口件供应链。反向的 "国产化替代配套"：一方面为国产设备 / 产线解决进口关键件卡脖子，另一方面在国产化仍不足的环节继续提供进口替代方案，形成 "国产零部件＋进口关键件 / 耗材" 的配套结构。