清溢光电｜光掩膜版国产龙头，光刻核心精密材料

公司简介

深圳清溢光电（688138），国内最早、规模领xian的掩膜版（光罩）制造商，主营半导体、显示面板用石英掩膜版、苏打掩膜版。掩膜版是光刻工序的核心精密底片，用于芯片图形转移。公司产品覆盖显示面板掩膜，同时发力半导体 IC 掩膜，已实现 180nm 半导体掩膜量产，持续向 130nm、28nm gao端节点研发突破，是光刻环节国产替代核心材料企业。

工况特点

掩膜版生产属于超高精密微加工，车间为ji高等级洁净室，对温湿度、尘埃颗粒控制极其严格。产线包含激光绘图、电子束曝光、干法刻蚀、镀膜、清洗、精密检测工序。生产工况特点：恒温恒湿、超高洁净、精密真空、光学环境严苛。曝光、镀膜设备需要稳定真空系统；清洗工序使用高纯化学品，依靠精密流体泵输送；光学检测设备搭载光纤光源、精密驱动电机；气体环境需要持续氧含量监测。设备零部件微小波动，都会造成掩膜版图形缺陷，直接造成报废，对零部件精度、稳定性、洁净兼容性要求ji高。

玉崎半导体合作逻辑

清溢光电掩膜制造产线集成大量日系精密设备与光学、流体、真空备件。玉崎半导体供应 REVOX 光纤 LED 光源、EBARA 荏原真空泵、JIKCO 系列氧气监测传感器、NIDEC 微型无刷主轴电机、PILLAR 精密泵类产品，适配掩膜版镀膜、刻蚀、清洗、光学检测工序。玉崎现货储备，保障光学检测、真空系统备件快速更换；同时提供精密零部件洁净工况选型，避免普通零部件带来的颗粒污染，保障掩膜生产良率。

反向 “国产化替代配套"

掩膜版长期被海外厂商垄断，清溢光电承担光掩膜国产化重任。随着掩膜国产率提升，反向带动光刻配套设备、光学零部件、真空、流体耗材国产化验证。在掩膜产线改造和新产线建设阶段，清溢光电逐步评估国产真空泵、精密泵、光学光源、气体传感器。玉崎半导体一方面提供进口标gan样品作为性能参照，另一方面对接国内零部件厂商，协同完成洁净工况、精度、稳定性测试，缩短国产零部件验证周期，推动掩膜产线上游精密零部件国产化，wan善光刻材料产业链自主配套。

玉崎配套价值阐述

玉崎半导体面向清溢光电超高洁净精密加工场景，提供真空、光学、流体、气体监测、精密驱动零部件一站式配套。针对掩膜制造严苛的洁净、低颗粒、高精度需求，筛选适配工况的日系精密备件，常备真空泵、光学光源、气体传感器、微型电机现货，保障产线稳定。国产化验证阶段，提供对标样品与工况参数，协助国产零部件做性能对比测试，加速上游零部件国产化落地，支撑国内光掩膜产业突破，助力光刻环节材料自主可控。