屹唐股份：国产前道等离子体与热处理核心设备技术解析及供应链协同方案

公司简介

北京屹唐半导体科技股份有限公司（屹唐股份，688729），是国内全球化布局的集成电路前道晶圆加工设备龙tou企业，2015 年成立，2025 年科创板上市，在中国、美国、德国三地搭建研发与制造基地，继承原 Mattson 三十余年等离子体与热处理设备技术积累上证路演中...。

公司主营干法去胶设备、快速热处理设备（RTP / 毫秒退火）、干法刻蚀及等离子体表面处理设备三大产品线。其中干法去胶设备、快速热处理设备全球市占率均位列前茅；干法刻蚀设备持续放量，覆盖从成熟制程到先进逻辑、存储芯片的量产验证，累计全球装机超 4800 台，客户覆盖全球qian十晶圆厂以及中芯国际、长江存储等国内头部制造企业，产品对标海外应用材料、TEL 等国际大厂，是国内半导体设备国产替代核心力量上证路演中...。

屹唐设备属于晶圆前道核心工艺主机，设备腔体内部需要高纯特种工艺气体输送、真空维持、等离子体激发、温控与尾气处理，整机大量配套超高纯阀件、真空泵、波纹管、密封件、真空计等流体真空类精密零部件，与玉崎半导体代理日系精密耗材品类高度适配。

屹唐核心产品及工况特点

1. 干法去胶设备

工艺用途：晶圆光刻胶灰化去除、刻蚀后残胶清除、硬掩膜干法剥离，广泛用于逻辑芯片、3D NAND、DRAM、功率器件、CMOS 图像传感器、MEMS 及先进封装。工况特点

• 等离子体反应腔体，通入 O₂、N₂、CF₄等氧化性、含氟工艺气体；介质具备一定腐蚀性；

• 工艺腔体维持中高真空，气体管路为 UHP 超高纯流体系统，对颗粒、金属析出、泄漏率要求严苛；

• 双腔独立并行结构，7×24 小时连续量产，高频气体通断，对 UHP 隔膜阀、波纹管阀寿命、稳定性要求高；

• 低损伤等离子体工艺，严控颗粒掉落，防止晶圆表面缺陷，配套流体零部件必须 EP 电解抛光、低析出。

2. 快速热处理 RTP 与毫秒级退火设备（

工艺用途：离子注入激活、超浅结形成、源漏激活、栅氧修复、金属硅化物制备；毫秒闪光退火用于先进逻辑低热预算工艺。工况特点

• 单片晶圆快速升温，几秒甚至毫秒级脉冲高温，温度均匀性要求ji高；

• 腔体内通入 Ar、N₂、O₂等保护 / 工艺气体，真空 / 常压交替工况；

• 冷热交替循环，管路与阀件承受温度交变，密封件需耐高温、抗老化；

• 先进节点超浅结工艺，不允许管路杂质、金属离子进入腔体，流体接触面超低析出是硬性指标。

3. 干法刻蚀与等离子体表面处理设备

工艺用途：介质 / 金属薄膜高选择比刻蚀、原子层级表面处理、薄膜改性、金属回流修复，适配 5nm~65nm 逻辑、3D NAND、HBM、功率半导体。工况特点

• ICP 电感耦合等离子体，采用含氟、氯腐蚀性特种工艺气体；离子能量与密度独立调控；

• 腔体高真空环境，工艺气体腐蚀性强，阀体、波纹管、密封件耐化学腐蚀要求高；

• 刻蚀工艺对气体脉冲时序、流量稳定性敏感，需要快速响应 UHP 阀门，流量重复性高；

• 腔体耗材、真空部件长期在等离子体、腐蚀气体环境下工作，对零部件材料、表面处理、氦检标准要求ji高。

共性工况总结：屹唐全部设备都集成超高纯气体输送子系统、真空抽气子系统，长期在腐蚀性特种气体、高低温交变、高真空、连续量产环境运行；流体管路、真空阀、波纹管、干式真空泵、密封件、真空接头是整机稳定运行的关键配套零部件，也是玉崎半导体主营日系耗材赛道

玉崎半导体 合作逻辑

屹唐是半导体工艺主机设备原厂，玉崎半导体（京都玉崎）是日系真空、超高纯流体零部件代理商，二者不是竞争关系，属于主机 - 精密零部件配套协同关系，合作逻辑分为三层：

1. 设备原厂配套供应链层面屹唐设备气路、真空系统需要 UHP 超高纯阀门、金属波纹管、干式真空泵、PTFE 全氟密封件、真空计、管路接头等零部件。玉崎代理的日系品牌：TK-FUJIKIN 富士金 UHP 阀、OHNO BELLOWS 大野金属波纹管、EBARA 荏原干式真空泵、MIYUKI 美幸辉阀配件、PILLAR 高纯密封件等，都是半导体行业成熟认证零部件，可作为屹唐设备 BOM 清单备选物料，用于新机台装配。

2. 晶圆厂产线维保、备件替换层面（最核心落地场景）屹唐设备交付到国内各大 Fab 产线后，在机台运维、备件更换环节，大量消耗真空、流体类耗材。晶圆厂现有产线普遍长期使用日系gao端真空流体配件，验证成熟、良率风险低。玉崎可直接给终端晶圆厂供应适配屹唐设备气路、真空腔体的日系备件，实现屹唐国产主机 + 日系成熟流体真空耗材组合方案，大幅降低客户验证成本，兼顾设备国产化与流体管路稳定性。

3. 联合方案推广，降低客户导入风险面向存储、逻辑、功率半导体晶圆厂，联合打包方案：屹唐国产干法去胶 / RTP / 刻蚀主机 + 玉崎代理日系 UHP 阀、波纹管、荏原干泵、高纯密封耗材。

• 优势：主机国产替代降本；流体真空配件沿用经过大量产线验证的日系成熟耗材；

• 价值：减少客户整套系统重新验证周期，降低颗粒、泄漏、腐蚀失效风险，非常适合扩产与老产线设备改造项目。

边界说明：玉崎不代理屹唐主机设备；屹唐不生产阀门、真空泵、波纹管这类流体真空零部件，双方是上下游配套协同伙伴。

产品覆盖板块

（一）屹唐主机设备覆盖工艺板块

1. 存储芯片：3D NAND 多层堆叠制造、DRAM、HBM 高带宽存储器，用于去胶、退火、介质 / 金属刻蚀；

2. 逻辑芯片：先进制程逻辑 IC，离子注入激活、硬掩膜去除、薄膜刻蚀、表面等离子体改性；

3. 功率半导体：IGBT、SiC/GaN 宽禁带器件退火、刻蚀、光刻胶去除；

4. 特色工艺：CMOS 图像传感器、MEMS、先进封装（TSV）。

（二）玉崎半导体配套耗材覆盖板块（适配屹唐整机气路 / 真空系统）

1. 超高纯阀门组件：TK-FUJIKIN 富士金隔膜阀、波纹管阀；MIYUKI 美幸辉阀组件；

2. 真空动力部件：EBARA 荏原干式真空泵；ULVAC 爱发科分子泵、真空计；

3. 金属柔性密封组件：OHNO BELLOWS 大野金属波纹管、真空伸缩件；

4. 高纯密封件与管路配件：PILLAR 高纯 PTFE 垫片、接头；

5. 其他配套：NICCA 日华化学清洗药液、SEN 光源、RKC 温控器件等。
   
   

屹唐股份凭借干法去胶、快速热处理、等离子体刻蚀三大平台化设备，成为国内前道半导体设备国产化的核心支柱，设备腔体与流体真空系统的稳定性，直接决定晶圆良率与产线稼动率。玉崎半导体依托多年日系gao端真空、超高纯流体耗材代理资源，可为屹唐主机新机装配以及下游晶圆厂运维备件提供成熟零部件配套。