半导体精密温控系统龙头：英维克

公司简介

深圳市英维克科技股份有限公司（Envicool，002837），深圳本土 A 股上市企业，国内精密温控、液冷系统解决方案龙头，2005 年成立，总部深圳龙华，国家ji高新技术企业。公司核心定位为环境与热源热管理系统供应商，面向算力、储能、半导体、新能源、轨道交通等行业提供风冷、液冷、精密恒温机组。

在半导体赛道，英维克聚焦晶圆厂车间空调、半导体工艺设备温控、激光器恒温、功率器件可靠性测试台液冷、SiC/IGBT 模块老化测试散热，为前道晶圆制造、后段封装、激光加工设备提供全场景温控方案。客户覆盖润鹏半导体、比亚迪半导体、杰普特光电等大湾区半导体 IDM、晶圆代工、激光装备厂商，是半导体产线热管理的核心国产供应商。

定位区分：

• 比亚迪半导体：IDM 芯片制造；润鹏半导体：12 英寸晶圆 Foundry；杰普特光电：半导体激光加工设备；英维克：半导体产线 / 设备的温控、液冷系统供应商。

核心产品与工况特点

英维克半导体板块产品分为三大类：洁净车间精密空调、半导体设备专用恒温冷水机 / 直冷机组、功率器件测试液冷系统。

1. 核心产品矩阵（半导体方向）

1. 半导体洁净厂房精密空调用于 12 英寸 / 8 英寸晶圆制造车间、封装车间，维持 ISO1~ISO4 洁净空间温湿度稳定，控制车间颗粒、温漂，保障光刻、刻蚀、薄膜沉积工艺稳定。

2. 激光器专用直冷 / 水冷温控机组（EID 系列）适配杰普特这类超快紫外、皮秒激光器，为激光光源提供恒温散热，保障激光器输出功率稳定，抑制波长漂移，用于晶圆调阻、陶瓷基板切割设备。

3. 功率半导体老化测试液冷系统面向 IGBT、SiC 功率模块高温老化、功率循环测试台，提供高精度控温冷源，满足车规器件 AEC-Q100 可靠性验证。

4. CDU 液冷分配单元、冷板、流体控制组件用于高功率半导体工艺机台、测试设备的芯片级液冷散热，实现高密度热源换热。

2. 产品工况特点

（1）半导体产线应用工况

• 超高控温精度：恒温机组温度控制精度可达 ±0.1℃，温湿度波动极小；晶圆光刻、薄膜沉积工艺对温度极其敏感，微小温度漂移直接造成晶圆良率下降。

• 24h 全年不间断连续运行：晶圆厂、封测厂全年连续生产，温控设备必须具备高 MTBF，具备故障自诊断、冗余备份能力，避免产线停机。

• 洁净车间适配：机组低粉尘、低振动、低电磁干扰，不影响精密设备与晶圆。

• 宽范围、高可靠性：可应对大负荷动态热波动，适配 SiC 功率器件老化测试时的大功率脉冲发热场景；满足车规器件长时间功率循环测试要求。

• 安全防泄漏：液冷系统具备漏液监测、报警与联动保护，一旦发生泄漏，可快速切断回路，保护昂贵晶圆与工艺设备。

（2）温控设备本体内部工况（玉崎配套切入点）

英维克的冷水机、液冷 CDU、激光器温控机组内部集成大量流体回路、压力监测、真空、阀门、流量测控组件：

• 液冷循环管路：需要高精度压力传感器、调压阀、流量监测元件，实时监测回路压力、流量；

• 真空脱气单元：液冷系统需要真空脱除冷却液中的气泡，防止气蚀、换热衰减，配套干式真空泵、真空阀；

• 工艺流体支路：多路流量分配，需要精密流量控制器、高纯密封件；

• 冷热交变工况：阀门、密封件长期承受温度循环，对材料耐老化、耐温性能要求高。

玉崎半导体合作逻辑

英维克属于系统集成商，自研整机与热交换核心结构，但流体回路、真空、压力流量测控等精密元器件，大量选用日系成熟品牌。玉崎半导体（京都玉崎华南一级代理），双方协同逻辑分为四层：

1. 流体与真空元器件配套匹配

英维克半导体温控机组、CDU 液冷单元、激光器温控设备内部气液回路，需要：

• EBARA 荏原干式真空泵：用于液冷回路真空脱气，去除循环液内部气泡，保障换热效率；

• TK-FUJIKIN 高纯流体阀门、隔膜阀、调压阀：用于水路、气路通断与压力调节，耐温、抗老化；

• HORIBA 流量、压力传感器：实时监测液冷回路流量与压力，形成闭环温控保护；

• 各类密封件、管路接头，用于机组装配。这些元器件直接决定液冷系统压力稳定、无气泡、无泄漏，是温控机组精度与长期可靠性的关键。

2. 设备交付后的现场运维备件保障

英维克设备交付至润鹏、比亚迪半导体、杰普特等客户现场：

• 真空阀、压力传感器、流量计属于周期性损耗件，需要预防性更换；

• 玉崎华南本地仓储，快速交付备件，缩短产线停机时间；

• 提供原厂元器件选型、工况评估，在英维克新品研发阶段提供元器件参数、寿命数据，协助机组可靠性验证。

3. 半导体严苛工况下供应链稳定性协同

半导体产线对温控系统稳定性要求ji高，一旦液冷系统压力、流量异常，会直接导致晶圆报废、昂贵激光光源损坏。

• 短期：选用日系经过长期验证的真空、流体元器件，保障温控机组在洁净车间、功率老化台、激光器等高要求场景稳定运行，满足车规半导体制造与测试工艺；

• 中长期：双方联合评估零部件国产化替代方案，分阶段替换，降低供应链风险，控制整机成本；

• 工况定制选型：玉崎结合半导体产线高低温、连续运行、洁净环境特点，推荐适配材质与型号，规避腐蚀、老化、泄漏风险。

4. 华南半导体产业生态联动

玉崎同时服务设备零部件厂商（英维克、杰普特）+ 晶圆制造工厂（润鹏、比亚迪半导体），形成完整产业链：

玉崎元器件 → 英维克温控系统 → 润鹏 / 比亚迪半导体晶圆与功率产线；玉崎元器件 → 杰普特激光设备 → 英维克配套温控 → 下游芯片制造产线。

玉崎打通上下游工艺信息，理解晶圆产线、激光设备的热管理真实工况，反向协助英维克优化温控机组的流体回路设计，更好适配大湾区第三代半导体、车规功率器件产线扩产需求。

结语

英维克作为国内半导体精密温控与液冷系统国产主力厂商，为晶圆制造、封装、激光加工、功率器件可靠性测试提供高精度热管理解决方案，设备内部流体、真空回路对精密测控元器件依赖性强。玉崎半导体依托日系真空、流体、传感元器件代理资源与华南本地化技术服务能力，为英维克温控机组提供配套元器件，支撑产品研发、整机制造以及下游半导体工厂现场运维保障；双方协同，共同保障华南车规功率半导体产线的工艺稳定性，助力半导体热管理系统国产化落地。