新品现货！MIYUKI 美幸辉 GAR 系列伺服控制闸阀

近期我司推出了 MIYUKI 美幸辉 GAR 系列伺服控制闸阀，该系列为大口径高流导精密真空调节阀，面向半导体、真空镀膜、锂电等真空工艺场景开发。产品采用伺服直驱闸板结构，全开状态下流阻小，排气性能优于传统蝶阀，可实现从全关到全开的连续无级流量调节，搭配配套压力控制器即可构建闭环真空稳压系统，适配产线自动化控制需求。

GAR 系列标配电磁抱闸机构，断电后可锁定阀位，避免腔体破真空造成工件氧化报废，保障生产安全。阀体接触介质部位采用镜面抛光 SUS304 不锈钢，低放气、低发尘，内外泄漏率可达 1×10⁻¹⁰Pa・m³/s，密封件可升级全氟醚材质，耐受等离子与腐蚀性工艺气体，满足洁净室生产标准。支持 0‑10V、4‑20mA 模拟信号以及 RS485 通讯，能够对接上位机系统，实现工艺数据采集与远程调控，口径覆盖 80A‑400A，适配 JIS、ISO、CF 多种法兰规格，可匹配不同规格大型真空腔体。广泛应用于半导体刻蚀、PVD/CVD 薄膜沉积、光学镀膜、锂电真空烧结、空间环境模拟设备的抽气管路，助力提升工艺压力稳定性，降低制程不良率，适合 24 小时不间断工业量产使用。