更新时间:2026-09-07
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近日,我司完成日本 FLUORO 福乐91‑CP 导电 PEEK 晶圆吸嘴入库备货,现货直接供应,专为 6 英寸(150mm)硅晶圆无损拾取设计,适配 C 系列全系列真空吸笔笔身,为半导体封测、化合物半导体、实验室晶圆处理工位提供 ESD 安全拾取配件解决方案。
91‑CP 为 Y 型三爪导电 PEEK 专用吸嘴,是 FLUORO C 系列真空吸笔的核心替换配件,专门匹配 6 英寸整片晶圆搬运作业。采用导电 PEEK 基材,经过精密机加工、热处理与镜面抛光处理,表面电阻率稳定维持 10⁶‑10⁸Ω,构建完整静电泄放通路,可有效规避静电放电造成晶圆、芯片隐性击穿,保护光刻胶、镀膜层不受损伤。
产品低发尘、低微粒析出,无金属析出污染,满足 Class10‑1000 洁净室使用标准;PEEK 材质耐 IPA、丙酮等常用清洗剂,耐高温耐化学腐蚀,可反复清洗循环使用,大幅降低产线耗材更换成本。
Y 型三爪受力结构,吸附受力均匀,抓取 6 寸硅晶圆、碳化硅基板、蓝宝石基板不易翘边、打滑,吸附面圆滑无毛刺,作业过程不会划伤晶圆表面。采用快拆模块化接口,拆装简单,可直接换装于 C001、C002、C003 等 FLUORO 原厂吸笔笔身,无需额外改造,快速完成配件替换维护。
91:适配 6 英寸(150mm)晶圆,Y 型三爪吸嘴本体
CP:Conductive‑PEEK,导电 PEEK 防静电材质
主要应用场景:6 英寸硅晶圆、碳化硅晶圆、蓝宝石基板、光学玻璃基板,半导体研发实验室、封测车间、探针台工位、样品转移等无尘防静电工位。
目前 91‑CP 导电 PEEK 晶圆吸嘴充足现货,支持单件试样及批量采购;同时可配套供应 FLUORO 原厂吸笔笔身、FV 系列真空泵、真空软管等整套配件,可根据客户工件规格提供完整选型建议。