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新品现货|樫山 Kashiyama NeoDry60E 风冷多级罗茨干式真空泵

更新时间:2026-09-24

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近期推出新品现货!!樫山 Kashiyama NeoDry60E 风冷多级罗茨干式真空泵

日本樫山 NeoDry60E 为风冷多级罗茨干式真空泵,主打长维护周期、高水汽处理能力、低振动低噪音,无需冷却水,插电即可投产,是半导体、实验室、镀膜产线替换油式旋片泵的热门机型。

产品核心特点

  1. 纯风冷无冷却水设计,不依赖厂房供水,现场部署简单,移动工位、无尘机柜内均可安装;整机 56kg,结构紧凑。

  2. 多级罗茨非接触转子结构,泵腔无油润滑,杜绝油蒸汽返流污染腔体,满足洁净工艺要求;转子无摩擦,不易产生粉尘颗粒。

  3. 标配气镇结构,最大水蒸气处理量可达 600g/h,可稳定抽取含水汽、少量溶剂蒸汽的工艺气体。

  4. 极限真空≤1.0Pa,最大抽速 1000L/min;洁净空气 / 氮气工况下标准维护周期长达 3 年,大幅降低产线停机维保成本。

  5. 低振动、低噪音,适配洁净室环境;50/60Hz 宽频适配,电源兼容性强。

适用工况半导体 Load-lock 腔体前级抽气、手套箱、真空冷冻再生、真空脱气、溶剂干燥、溅射镀膜、科研实验腔体、氦检前级泵;适合需要频繁破空、含水汽、对腔体洁净度有要求的中真空制程。

介质限制:仅适配空气、氮气等惰性洁净气体;腐蚀性气体、大量粉尘工况需选用特殊涂层版本。

📦 原装现货,支持现场测试、技术选型,可配套真空系统方案,欢迎询价。


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