现货FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C 富士金 FUJIKIN IGS 集成气路金属隔膜阀
更新时间：2026-10-08
浏览次数：17
新品现货！！富士金 FUJIKIN FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C IGS 集成气路金属隔膜阀IGS 板载气动隔膜阀，SUS316L 双熔材质，EP 内抛，禁油，氦检微泄漏，适配半导体特种腐蚀性高纯气体，6.35mm (1/4")，现货可发。
IGS 全称 Integrated Gas System，富士金半导体集成气体输送系统专用气动隔膜阀，半导体 FAB 高纯气路核心阀件
型号释义
FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C
FPR：FINE PURE 系列金属隔膜阀
PSD：IGS 集成气路板安装型气动隔膜阀（常闭 NC）
21.6：驱动气缸规格
6.35：流通管径 1/4"（6.35mm）
UGC：IGS 板载焊接接口
#C：版本代码
产品特点
IGS 板载模块化设计，直接安装在气体集成块上，大幅减小管路内容积，吹扫置换速度快，减少死体积，是半导体气体面板主流方案フジキン
阀体材质 SUS316L 双熔不锈钢（W-melt），阀内电解研磨 EP 处理，内壁粗糙度极低，低析出、低微粒
隔膜：镍钴合金金属隔膜，无橡胶密封，适配高纯、腐蚀性特种工艺气体
阀座密封 PCTFE，耐卤素、腐蚀性气体；禁油洁净处理
氦检标准：阀座泄漏 & 外漏均可达 5×10⁻¹² Pa・m³/s，超高密封性，真空工况稳定フジキン
气动驱动，常闭型；驱动气源压力：0.39~0.59MPa，响应迅速，适合自动化气体通断控制
体积紧凑，维护便捷，可单独拆装，无需拆解整套气路模块
规格参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C |
| 类型 | IGS 板载式气动金属隔膜阀（常闭 NC） |
| 通径 | 6.35mm（1/4 英寸） |
| 阀体材质 | SUS316L（双熔炼） |
| 隔膜材质 | 镍钴合金 |
| 阀座 | PCTFE |
| 接口形式 | IGS 集成块 UGC 焊接接口 |
| 使用流体温度 | -10℃ ~ +80℃ |
| 最高工作压力 | 1MPa |
| 驱动气源压力 | 0.39～0.59 MPa |
| 洁净等级 | 禁油，EP 电解研磨 |
| 泄漏率 | 氦检：5×10⁻¹² Pa・m³/s |
应用场景
半导体晶圆制造：刻蚀、沉积、离子注入设备的特种工艺气体（Cl₂、NH₃、SiH₄、N₂、Ar 等）供气面板 IGS 气路模块
高纯特种气体、腐蚀性气体、真空管路通断控制
光伏、显示面板、实验室超高纯气体输送系统
电子行业气体柜、气体分配单元 GDU
