公司新闻

news

当前位置:首页  /  公司新闻  /  现推出新品!!FLUORO 福乐 FV-60-240 无油隔膜真空泵深圳仓现货

现推出新品!!FLUORO 福乐 FV-60-240 无油隔膜真空泵深圳仓现货

更新时间:2026-10-12

浏览次数:5

现推出新品!!FLUORO 福乐 FV-60-240 无油隔膜真空泵深圳仓现货;8~12 寸晶圆拾取专用真空源,配套 C002-Y 真空吸笔,无尘室 ESD 防静电真空泵,原装现货,快速出库!

FV-60-240 是日本 FLUORO 福乐 FV 系列无油隔膜真空泵,AC220~240V 国内市电直用,专为 C 系列 NO 常开真空吸笔配套开发,作为 8 寸、12 寸硅晶圆、碳化硅大基板拾取工位的独立真空源,无需外接工厂空压,桌面直接部署,是晶圆检验、探针台、划片、贴膜工序的理想真空主机。

产品亮点

✅ 无油干式设计,无尘洁净不污染晶圆隔膜式无油结构,无油气挥发污染;进出气口内置 HEPA 过滤器,对 0.3μm 微粒过滤效率 99.97%,自带可视观察窗,直观查看滤芯状态,满足 Class10~1000 洁净车间使用,杜绝油雾、粉尘污染裸晶圆与光刻胶面。

✅ 高负压稳定输出,适配大尺寸 / 翘曲薄片极限真空可达 - 80kPa(-600mmHg),稳定负压输出,针对 8 寸、12 寸大晶圆、翘曲薄晶圆提供充足吸附力,搭配 C002-Y+98-CP 吸笔组合,拾取不打滑、不掉片。可7×24 小时连续不间断运行,理论寿命≥8760 小时,产线长时间作业稳定可靠。

✅ ESD 防静电泵体,保护精密器件泵身采用防静电尼龙材质,具备静电泄放能力,消除静电击穿芯片、外延片风险,匹配半导体无尘车间静电管控要求。

✅ 低噪小型台式,部署灵活整机体积小巧(137×88×133mm),净重仅 1250g,直接放置工作台;封闭式降噪结构,运行噪音低,无需大型管路与空压机,单工位独立真空源,工位改造简单。

✅ 成套配套,即插即用直接适配 C002-Y 吸笔杆、98-CP 吸笔头、659 台式吸笔座;接上防静电真空软管,整套真空吸笔系统一次搭建完成。

核心规格

  • 品牌:FLUORO 福乐(日本)

  • 型号:FV-60-240

  • 泵类型:无油隔膜真空泵

  • 供电:AC220~240V 50/60Hz(国内市电)

  • 功耗:10W

  • 极限负压:-80kPa(-600mmHg)

  • 流量:2.5 L/min

  • 适用晶圆:8 寸、12 寸硅晶圆、SiC 基板、光学薄片

  • 本体材质:防静电尼龙

  • 内置配件:进出气 HEPA 滤芯,带滤芯观察窗

  • 外形尺寸:137 × 88 × 133 mm

  • 净重:1250 g

  • 工作模式:连续运转

  • 适配吸笔:C002-Y / C003-Y / F002 系列 NO 常开真空吸笔

  • 使用环境:Class10~1000 无尘室,干式工况

供货说明

📦 深圳仓现货库存,原装正品,单独 FV-60-240 真空泵可出;可整套打包出货:FV-60-240 真空泵 + C002-Y 吸笔杆 + 98-CP 吸笔头 + 659 吸笔座完整晶圆真空拾取套装。FV 系列其他型号 FV-10-240、FV-30-240 同步备库,按需选型。支持样品、批量询价,配套防静电软管、替换 HEPA 滤芯可一站式配齐,珠三角当日 / 次达,全国均可发货。

现推出新品!!FLUORO 福乐 FV-60-240 无油隔膜真空泵深圳仓现货

手机:13530227878

扫码加微信