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| 品牌 | OSAKA/大阪真空 | 供货周期 | 两周 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
日本进口大阪真空Osaka Vacuum涡轮分子泵
日本进口大阪真空Osaka Vacuum涡轮分子泵
大阪真空（Osaka Vacuum）TG‑F 系列涡轮分子泵
TG‑F 系列是大阪真空（Osaka Vacuum）脂润滑滚珠轴承型涡轮分子泵，自1999年上市以来为经典主力机型，排气速度覆盖 50～2400 L/s，主打紧凑坚固、任意安装、耐大气冲击、免维护，适配可搬式设备与振动/移动工况，广泛用于光学、显示、半导体、理化仪器、能源、医疗等领域。
• 轴承类型：脂润滑滚珠轴承（区别于磁悬浮/油润滑）
• 结构特点：一体化转子+上下滚珠轴承+冷却流道，抗冲击、低振动
• 运行模式：高转速、高真空、宽压力区间（10⁻¹～10⁻⁷ Pa）
任意姿态安装：垂直、水平、倒立均可运行，无方向限制，适配复杂管路与移动设备。
• 耐大气冲击：强化转子/轴承结构，可承受400次以上连续大气冲入，适配频繁启停、腔体开门/维修场景。
• 长寿命免维护：无需补充润滑脂，大修周期2～3万小时，设计寿命＞10万小时，支持24/7连续运行。
• 紧凑轻量化：同级别重量比磁悬浮泵轻30%+，适合空间受限与移动设备。
• 高排气速度+高压缩比：N₂*高2400 L/s，H₂*高1300 L/s；N₂压缩比1×10⁸，H₂达4.3×10³。
• 快速启停：启动时间5.5～9 min，停机时间12～32 min（依型号）。
• 低基础压力：极限真空＜1×10⁻⁶ Pa（7.5×10⁻⁹ Torr）。
• 气体适配：标准型支持N₂、Ar、H₂等惰性/常规气体；腐蚀性气体可选TG‑M/TG化学兼容系列。
• 冷却方式：风冷（A）/水冷（W）可选，水冷适配高负载/高温环境。
• 法兰规格：VG、ISO‑B、CF 三种标准法兰，适配主流真空接口。
• 专用控制器：TC1103/TC1104，集成驱动、保护、显示功能。
• 通讯接口：标配RS232C，支持远程监控与参数配置。
• **认证：CE、SEMI‑S2、NRTL，符合工业**标准。
代码 | 含义 | 可选值 |
TG | 系列代号（涡轮分子泵） | TG |
1400 | 排气速度（L/s，N₂） | 220/350/450/800/1100/1400/2400 |
F | 轴承类型（脂润滑滚珠） | F |
B | 入口法兰 | FV=VG200；FB=ISO‑B200；FC=CF200 |
W | 冷却方式 | A=风冷；W=水冷 |
B | 其他配置 | 标准/定制 |
• TG1100FBWB：ISO‑B200法兰+水冷，排气速度1100 L/s
• TG1400FCAB：CF200法兰+风冷，排气速度1400 L/s
型号 | 排气速度（L/s，N₂） | 排气速度（L/s，H₂） | 极限真空（Pa） | 压缩比（N₂） | 压缩比（H₂） | *大流量（sccm） | 启动时间（min） | 停机时间（min） |
TG220F | 220 | 130 | ＜1×10⁻⁶ | 1×10⁸ | 4.3×10³ | 150 | 5.5～7 | 12～18 |
TG350F | 350 | 210 | ＜1×10⁻⁶ | 1×10⁸ | 4.3×10³ | 180 | 5.5～7 | 12～18 |
TG450F | 450 | 270 | ＜1×10⁻⁶ | 1×10⁸ | 4.3×10³ | 220 | 5.5～7 | 15～20 |
TG800F | 850 | 510 | ＜1×10⁻⁶ | 1×10⁸ | 4.3×10³ | 330 | 7～9 | 20～25 |
TG1100F | 1100 | 660 | ＜1×10⁻⁶ | 1×10⁸ | 4.3×10³ | 330 | 7～9 | 20～25 |
TG1400F | 1400 | 840 | ＜1×10⁻⁶ | 1×10⁸ | 4.3×10³ | 450 | 5.5～7 | 25～30 |
TG2400F | 2400 | 1300 | ＜1×10⁻⁶ | 1×10⁸ | 4.3×10³ | 860 | 5.5～7 | 30～32 |
参数名称 | 通用规格 | 分型号差异（依排气速度） |
材质 | 泵体：不锈钢；转子：铝合金 | 无差异 |
重量（kg） | 27～50 kg | TG220F/TG350F：27-32；TG450F/TG800F：32-40；TG1100F/TG1400F：40-45；TG2400F：45-50 |
转速（rpm） | 24000～36000 | TG220F/TG350F：36000；TG450F/TG800F：30000；TG1100F/TG1400F：28000；TG2400F：24000 |
电源 | AC200～230 V（±10%），50/60 Hz，单相 | 无差异 |
冷却条件（风冷） | 环境温度10～32℃，风扇通风良好 | 无差异 |
冷却条件（水冷） | 水温10～35℃（*优＜30℃），流量5～10 L/min | TG2400F：流量建议8～10 L/min，其余5～8 L/min |
前级泵要求 | 推荐≥250 L/min 干式/油旋片泵，极限压力＜330 Pa | TG2400F：推荐≥300 L/min 前级泵 |
入口法兰尺寸 | VG200/ISO‑B200/CF200 | 无差异（可按需选择） |
出口法兰尺寸 | NW40（全型号统一） | 无差异 |
核心组件：上方轴承、主轴、下方轴承、冷却流道、涡轮转子、定子叶片
轴承系统：双滚珠轴承+脂润滑，支撑高速主轴，降低振动与磨损
型号 | 高度（mm） | 直径（mm） | 入口法兰直径（mm） | 出口法兰直径（mm） | 对应尺寸图编号 |
TG220F | 280 | 220 | VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253) | 40 | TG-F-001 |
TG350F | 290 | 230 | VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253) | 40 | TG-F-002 |
TG450F | 300 | 240 | VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253) | 40 | TG-F-003 |
TG800F | 310 | 245 | VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253) | 40 | TG-F-004 |
TG1100F | 315 | 248 | VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253) | 40 | TG-F-005 |
TG1400F | 320 | 250 | VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253) | 40 | TG-F-006 |
TG2400F | 350 | 280 | VG200(200)/ISO‑B200(285)/CF200(253) | 40 | TG-F-007 |
3. 尺寸图清单（可直接插入Word/PDF，对应上述尺寸表）
• TG-F-001：TG220F 尺寸图（含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓）
• TG-F-002：TG350F 尺寸图（含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓）
• TG-F-003：TG450F 尺寸图（含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓）
• TG-F-004：TG800F 尺寸图（含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓）
• TG-F-005：TG1100F 尺寸图（含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓）
• TG-F-006：TG1400F 尺寸图（含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓）
• TG-F-007：TG2400F 尺寸图（含安装孔位置、法兰细节、整体轮廓）
• TG-F-008：控制器（TC1103/TC1104）尺寸图（19英寸机架适配，安装孔距）
说明：尺寸图均为标准CAD导出格式（可编辑），插入Word/PDF后可调整大小，不影响清晰度。
尺寸：约482 mm × 132 mm × 450 mm（19英寸标准机架）
功能：启停控制、转速调节、故障诊断、真空度显示、RS232C通讯
真空镀膜机、离子束设备、OLED/LCD 制程、光学元件真空测试
真空腔体、晶圆处理、溅射/刻蚀设备、电子束焊接
质谱仪、电子显微镜、表面分析设备、高能物理实验
太阳能电池制程、真空热处理、检漏设备、可搬式真空系统（ST 系列：TG‑F+干式前级泵）
真空**、医疗仪器、精密真空包装
姿态不限：确保泵体固定牢固，无剧烈振动（振幅＜0.1 mm）
法兰密封：金属密封（CF）/橡胶密封（ISO‑B/VG），清洁密封面，均匀拧紧螺栓
冷却连接：水冷型接入冷却水（进口＜30℃），风冷型确保风扇通风良好
前级配置：前级泵出口接TG‑F 入口，启动顺序：前级泵→分子泵
• 日常检查：运行温度（＜50℃）、振动、噪音、控制器报警
• 润滑维护：免日常加油，大修周期2～3万小时（专业返厂维护）
• 存储条件：干燥、无尘环境，长期停用需充入干燥氮气保护
• 故障处理：过载/过流/过热报警时，立即停机，排查冷却、电源、前级泵状态
排气速度：依腔体体积与抽气时间要求，优先选1.2～1.5倍理论需求
法兰规格：匹配系统接口，CF 超高真空、ISO‑B 高真空、VG 经济型
冷却方式：固定设备/高负载选水冷；移动/便携选风冷
前级泵：优先干式真空泵（无油、清洁），流量≥250 L/min（TG2400F 需≥300 L/min）
• 涡轮分子泵（TG‑F 系列，指定型号）
• 专用控制器（TC1103/TC1104，匹配泵型）
• 电机电缆（3 m）、风扇电缆（风冷型，3 m）
• 入口防护网、安装螺栓、密封件（匹配法兰规格）
• 烘烤加热器（150℃）
• 自动慢泄阀
• 吹扫气接口
• 精密针阀
• 定制法兰/支架
• TG-F-曲线01：TG220F～TG350F 排气速度曲线（N₂/Ar/H₂）
• TG-F-曲线02：TG450F～TG800F 排气速度曲线（N₂/Ar/H₂）
• TG-F-曲线03：TG1100F～TG1400F 排气速度曲线（N₂/Ar/H₂）
• TG-F-曲线04：TG2400F 排气速度曲线（N₂/Ar/H₂）
• TG-F-曲线05：全型号流量-压力曲线
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