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| 品牌 | Fujikin/富士金 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
|---|
FSR：直通球形阀体（直线流道）
SD：标准直动金属隔膜、标准气动执行器
71：UJR 金属垫片接头标准低压阀体（最高 1.0MPa）
6.35：管材外径 mm；后缀 - 2 = 两端 UJR 母头；#A 出厂批次标识
进口Fujikin富士金直通自动球形金属隔膜阀通用标准参数：
| 参数项目 | 标准规格 |
|---|---|
| 阀体 / 隔膜材质 | SUS316L 不锈钢 |
| 阀座材质 | PCTFE（可选 PI 高温阀座） |
| 最高工作压力 | 1.0 MPa（40℃常温） |
| 使用温度范围 | -10℃ ~ +80℃ |
| 驱动气源 | 0.4~0.6MPa 洁净干燥空气，标准 N.C. 常闭 |
| 管路连接 | UJR 金属硬密封垫片接头 |
| 洁净等级 | 出厂wan全脱脂禁油，可选 UP/UG 超洁净处理 |
| Cv 流量系数 | 6.35mm(1/4")=0.1 |
| 泄漏标准 | 内外漏≤5×10⁻¹² Pa・m³/s，全检氦检漏 |
| 开关响应间隔 | 短响应，适合高频切换工艺气路 |
| 整机重量 | 约 320g |
1. 两端 UJR 公头标准款
| 完整型号 | 管材 OD | 英制管径 | Cv 值 | 接头形式 |
|---|---|---|---|---|
| FSR-SD-71-6.35#A | 6.35mm | 1/4" | 0.1 | 两端 UJR 公头 |
2. 两端 UJR 母头（后缀 - 2）
| 完整型号 | 管材 OD | 英制管径 | Cv 值 | 接头形式 |
|---|---|---|---|---|
| FSR-SD-71-6.35-2#A | 6.35mm | 1/4" | 0.1 | 两端 UJR 母头 |
说明：FSR-SD-71 仅量产 6.35mm（1/4"）单一口径，无 3/8" 大规格；如需 9.52mm 选用 FSR-ND-71 系列。
进口Fujikin富士金直通自动球形金属隔膜阀典型应用场景：
半导体刻蚀 / 沉积设备微量工艺气直线管路
SiH₄、NF₃、Cl₂、WF₆等腐蚀自燃气体小流量切断隔离
高真空腔体直进式进气阀，低微粒污染，稳定维持真空度
光伏、面板镀膜设备高纯氩气、氮气直线工艺管路
实验室特种气体供气柜直线支路切断阀
锂电、生物医药高纯惰性气体洁净输送管路
シリーズスペック詳細
| 材質 | ステンレス鋼製(SUS316L) |
|---|---|
| クリーン度 | wan全禁油 |
| 最高使用圧力(MPa) | 1 |
| 最高使用温度(℃) | 80 |
| zui低使用温度(℃) | -10 |
| 接続形式 | メタルガスケット式 |
| 特徴 | 特殊材料ガス,真空 |
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