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| 品牌 | BROOKS/布鲁克斯 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 超声波 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,电子/电池,汽车及零部件,电气,半导体 |
BROOKS布鲁克斯 SLA流量控制器和流量计
BROOKS布鲁克斯 SLA流量控制器和流量计
SLA 是 Brooks 经典数字式热式（Thermal）质量流量平台，分两大主线，全部用于气体精密流量测控
气体流过加热传感毛细管，带走热量；
上下游测温丝温差与气体质量流量线性对应（不受温度、压力波动干扰）；
内置数字芯片 + 精密电磁阀，实时闭环调节阀门开度，稳定维持设定流量；
搭载 Brooks MultiFlo™多气体算法，单台设备可存储 6 种气体校准曲线，现场免拆切换气体 / 量程
| 基础型号 | 设备类型 | N₂标准满量程区间 | 量程比 | 标准耐压 |
|---|---|---|---|---|
| SLA5850 | MFC 控制器 | 0.003 ~ 50 slpm | 100:1 | 1500 psi (103 bar) |
| SLA5860 | MFM 流量计 | 0.003 ~ 50 slpm | 100:1 | 1500 psi |
| SLA5851 | MFC 控制器 | 15 ~ 150 slpm（H₂*高 200 slpm） | 50:1 | 1500 psi |
| SLA5861 | MFM 流量计 | 15 ~ 150 slpm | 50:1 | 1500 psi |
| SLA5853 | MFC 控制器 | 100 ~ 2500 slpm | 50:1 | 1000 psi (69 bar) |
| SLA5863 | MFM 流量计 | 100 ~ 2500 slpm | 50:1 | 1000 psi |
补充同系列压力控制器（不属于流量 MFC）：SLA5810/SLA5820/SLA5840
| 代码 | 通讯类型 | 接口形式 |
|---|---|---|
| S | 4-20mA/0-5V 模拟 + RS485（S 协议 / HART） | 15 针 D-Sub |
| D | DeviceNet | 5 针 Micro |
| P | Profibus-DP | 双 9 针 Sub-D |
| F | FF 现场总线 FOUNDATION Fieldbus | 4 针 Micro |
| 8 | EtherNet/IP | M12 D 编码双网口 |
| E | EtherCAT | M12 |
全系完整主干型号汇总
| 介质类型 | Gas |
|---|---|
| 流量测量原理 | Thermal (TMF) |
| 流量范围 | .003 - 2500 slpm |
| 精度范围 | Up to ±0.6% of S.P. (20-100% FS)±0.12% of FS (<20% FS) |
| 调节比 | 1-50 slpm: 100:1, 50-2500 lpm: 50:1 |
| 重复性 | 0.20% S.P. |
| *大压力 | 1500 psi |
| 工作温度 | -14°C - 65°C |
| 测量/控制 | Measure & Control (Controller), Measure Only (Meter) |
| *大流量 | 2500 slpm |
| *大工作压力 | 310 bar |
| *高温度 | 65 celsius |
| 密封选项 | Elastomer |
| 精度（占流量百分比） | ±0.6%, ±0.9% |
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