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| 品牌 | BROOKS/布鲁克斯 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 超声波 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,电子/电池,汽车及零部件,电气,半导体 |
BROOKS布鲁克斯 GF流量控制器和流量计
BROOKS布鲁克斯 GF流量控制器和流量计
特点
长期零点稳定性，每年变动小于满量程的 ± 0.5%
稳定时间：Settling times: 300 ms - <700 ms or 700 ms - <1 second 秒
满量程流速高达 300 slpm
全金属密封流路：可选择采用 4µ 或 10µ 英寸 Ra 表面处理的流路
耐腐蚀 Hastelloy® T-Rise 传感器可提升高温下测量结果的可重现性
MultiFlo™ 气体和量程设定功能 — 一台设备即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需从气路上拆除 MFC 并且不影响精度
本地显示屏
可选 SDS 气体输送
DeviceNet™、RS-485 L-协议和模拟接口
一、主干基础型号总表（功能 + 流量区间）
| 基础型号 | 定位 | 标准 N₂量程 | 核心特性 |
|---|---|---|---|
| GF100 | 标准通用金属密封 MFC/MFM | 3 sccm ~ 55 slpm | 常规响应，10μ Ra 流道，全系基础款 |
| GF101 | 大流量金属密封 MFC | 55 slpm ~ 300 slpm | 大流量阀体，适配高载气 |
| GF120 | SDS **输送系统（低差压） | 3 sccm ~ 55 slpm | SDS 低压降，分 XSD/XSL 细分 |
| GF120XSD | SDS 微流量款 | 4 ~ 25 sccm | 微量工艺、ALD 小流量 |
| GF120XSL | SDS 中小流量款 | >25 sccm ~ 1 slpm | 薄膜沉积标准 SDS |
| GF121 | SDS 大流量款 | 55 ~ 300 slpm | 大流量 SDS 供气 |
| GF125 | PTI 抗压力波动型 | 3 sccm ~ 55 slpm | 压力瞬变抑制，多阀路串扰工况 |
| GF126 | PTI 大流量款 | 55 ~ 300 slpm | 大流量 + 抗压力冲击 |
区分：GF1XX = 常规金属密封；GF12X = 带 SDS 低压输送 / PTI 抗压力波动增强版
GF100 系列核心关键参数
密封：全金属无橡胶，哈氏合金传感器 + 阀座，耐 Cl₂、WF₆、HF 等腐蚀气体
零点漂移：年漂移≤±0.15% FS，极低阀门泄漏≤0.15% FS，减少首片效应
响应速度：微流量 300ms，中流量 400~500ms，大流量 < 700ms
MultiFlo：免拆设备切换千余种气体，多量程一键切换
量程比：标准 100:1，低设定 2~100% 可控
耐压：标准 150 psi，定制高压款可选
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