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BROOKS布鲁克斯 XacTorr® 加热式电容压力计

简要描述：BROOKS布鲁克斯 XacTorr® 加热式电容压力计
XacTorr CMX 是恒温加热型电容薄膜真空规，对比常温 CMC 系列，自带控温加热，抑制工艺可凝气体（硅烷、金属有机、卤化物）冷凝污染膜片，长期零点漂移极小，是半导体刻蚀、ALD、CVD、薄膜沉积**真空闭环控制标配

基础信息

产品型号

CMX3

厂商性质

经销商

更新时间

2026-07-17

浏览次数

26

产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION
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详细介绍
品牌BROOKS/布鲁克斯价格区间面议
产品种类超声波介质分类气体
产地类别进口应用领域化工,电子/电池,汽车及零部件,电气,半导体

BROOKS布鲁克斯 XacTorr® 加热式电容压力计
BROOKS布鲁克斯 XacTorr® 加热式电容压力计

一、四大基础主干型号（按恒温温度区分）

型号恒温加热温度精度表现适用工艺
CMX0常温无加热（经济型，等同 CMC 升级数字版）±0.25% 读数无冷凝、洁净氮气 / 氩气腔体
CMX1（CMX45）45℃恒温加热1~1000Torr：±0.15%FS；＜1Torr：±0.25%FS常规 CVD、PVD、无重沉积薄膜
CMX2（CMX100）100℃高温加热同 CMX1 高精度易冷凝前驱体、ALD、金属有机源 MOCVD
CMX3（CMX160）160℃超高温加热±0.25% 读数高沸点、极易冷凝特种气体、刻蚀腔体

核心区别 CMX vs CMC

  • CMC：常温无加热、仅 0-10V 模拟、无数字总线、低成本通用镀膜

  • CMX：可恒温加热、支持 RS485/DeviceNet 数字通讯、极低温漂、半导体**工艺专用

特点

  • 适用于 0.10 Torr - 1000 Torr 过程真空度范围

  • 有多种精度水平可供选择

  • Mark IV **传感器

  • 数字化架构可实现超高**度的宽动态范围操作

  • 双区域温控功能可提高测量稳定性和可重现性

  • 多段数字校准功能可提供**窗口显示已知精度

  • 智能触控式零点调节

  • 可单独轻松访问的诊断维护端口

  • DeviceNet® 和模拟通信选件

优势

  • 漂移较低，能够为过程气体沉积提供的保护

  • 无需使用手动电位计，不存在电子漂移

  • 快速预热、闭阀温度控制并能够根据变化做出快速响应

  • 多段校准功能可提供**窗口显示已知精度以及对环境温度影响的实时补偿

  • 如果压力过高或者未达到目标温度则无法调零

  • 诊断端口允许用户在设备运行期间提供监视和数据采集功能，实现仓室和工具匹配以及“实时"**故障排除

核心性能参数

  1. 传感器：** Mark IV Inconel 隔离膜片，抗颗粒沉积，减少频繁校零

  2. 量程比：4 个数量级宽量程稳定测量

  3. 响应速度：≤40ms，适合高精度闭环压力控制

  4. 温漂指标（加热款）

    • 零点温漂：0.002% FS/℃

    • 量程温漂：0.02% 读数 /℃

  5. 超压保护：125% FS 或 17 psia，取较小值

  6. 接液材质：Inconel 合金 + 316L VIM-VAR 不锈钢，耐轻度腐蚀工艺气体

  7. 预热时间：标准 2h；≤1Torr 微量程需 4h 充分稳定






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