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DIC 迪爱生 超纯水ppb脱氧水用脱气供气模组

简要描述:DIC 迪爱生 超纯水ppb脱氧水用脱气供气模组
使用DIC独特的中空纤维膜,可以进行ppb级的脱气。此外,通过采用具有致密表皮层的中空纤维,可以将凝结水的产生控制在较低水平。 另外,DIC中空纤维膜模组 SEPAREL也适用于气体溶解(供气)

基础信息

产品型号

EF-G3

厂商性质

经销商

更新时间

2026-07-18

浏览次数

19
详细介绍
品牌DIC/迪爱生

DIC 迪爱生 超纯水ppb脱氧水用脱气供气模组
DIC 迪爱生 超纯水ppb脱氧水用脱气供气模组
主要用途

  • 超纯水的脱氧、脱二氧化碳

  • 锅炉供水的脱氧

  • 清洗用功能水的制造(CO2、H2、N2、O2溶解) ※请使用eFLOW供应CO2。

  • 超声波清洗机用水的除泡处理

1. 膜材质核心特性

膜丝:PMP 聚 4 - 甲基 - 1 - 戊烯,表面 1μm 致密表皮层,只透气、不透水;极细 180μm 中空丝,单位体积膜面积大,低水蒸气冷凝析出,无离子溶出,适配超纯水 / 半导体纯水。

2. 两种工作模式(一体两用)

  1. 真空脱气模式:膜外侧接真空泵,去除水中溶解 O₂/CO₂/N₂,残氧可达ppb 级

  2. 加压供气 / 溶气模式:膜外侧通入 N₂/O₂/H₂/CO₂,向纯水定量溶气,制备功能清洗水;

3. 两大结构系列区分

PF 系列(内灌流):液体走中空丝内部,可反向水洗再生,小中流量、设备机柜集成shou选;

EF 系列(外灌流):液体包裹膜丝外侧,气液接触更充分、压损更低,中大工业流量、高脱气效率场景。

EF = 外灌流;数字 = 流量规格;G = 通用水款;P = 法兰工业款
型号推荐处理流量 (L/h)外形尺寸 (φ× 长 mm)液体耐压液体接口真空接口
EF-MICRO0.1~10微型柱体0.3MPa鲁尔接头φ4 软管
EF-G25~120φ45×1410.3MPaRc1/8Rc1/8
EF-G350~1200φ45×1410.3MPaRc1/8Rc1/8
EF-G5200~3000φ99×2600.3MPaRc3/8Rc1/4
EF-002A6~300109×1820.3MPa1/2 螺纹Rc1/4
EF-002A-P6~300109×2400.3MPa法兰软管接头
EF-010G100~1500170×4300.5MPaRc1/2Rc1
EF-020G300~3000170×8800.5MPaRc1Rc1/2
EF-040P500~5000180×6730.6MPaJIS10K 25A 法兰ISO15A 套口
EF-1203000~50000315×8500.6MPaJIS10K 80A 法兰Rc1
  • 典型应用场景

    • 半导体行业:超纯水 ppb 脱氧、CO₂溶水防静电、湿法清洗氢水制备;

    • 精密清洗:超声波清洗水除泡、光伏 / 电子零部件纯水脱气;

    • 锅炉供水:给水脱氧防管道腐蚀;

    • 实验室纯水机、去离子水设备

    • 工业功能水:氮气饱和水、臭氧水稳定制备。

通用基础参数(全系列通用)

项目规格
接触液材质PMP 膜丝 + PP/PSU 外壳 + 食品级密封
适用介质纯水、超纯水、弱酸碱清洗液、含微量表面活性剂水溶液
液体侧最高耐压PF:0.3MPa;EF 小型 0.3MPa / 中大型 0.5~0.6MPa
气体侧耐压真空负压 ≤-0.095MPa;供气正压 ≤0.1MPa
使用温度2~40℃
脱气精度出水残氧 1~10ppb(匹配半导体 12 寸晶圆标准)
核心优势脱气 / 溶气二合一、低压力损失、小型化、可反向清洗、无金属析出









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