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| 品牌 | DIC/迪爱生 |
|---|
超纯水的脱氧、脱二氧化碳
锅炉供水的脱氧
清洗用功能水的制造(CO2、H2、N2、O2溶解) ※请使用eFLOW供应CO2。
超声波清洗机用水的除泡处理
真空脱气模式:膜外侧接真空泵,去除水中溶解 O₂/CO₂/N₂,残氧可达ppb 级;
加压供气 / 溶气模式:膜外侧通入 N₂/O₂/H₂/CO₂,向纯水定量溶气,制备功能清洗水;
PF 系列(内灌流):液体走中空丝内部,可反向水洗再生,小中流量、设备机柜集成shou选;
EF 系列(外灌流):液体包裹膜丝外侧,气液接触更充分、压损更低,中大工业流量、高脱气效率场景。
| 型号 | 推荐处理流量 (L/h) | 外形尺寸 (φ× 长 mm) | 液体耐压 | 液体接口 | 真空接口 |
|---|---|---|---|---|---|
| EF-MICRO | 0.1~10 | 微型柱体 | 0.3MPa | 鲁尔接头 | φ4 软管 |
| EF-G2 | 5~120 | φ45×141 | 0.3MPa | Rc1/8 | Rc1/8 |
| EF-G3 | 50~1200 | φ45×141 | 0.3MPa | Rc1/8 | Rc1/8 |
| EF-G5 | 200~3000 | φ99×260 | 0.3MPa | Rc3/8 | Rc1/4 |
| EF-002A | 6~300 | 109×182 | 0.3MPa | 1/2 螺纹 | Rc1/4 |
| EF-002A-P | 6~300 | 109×240 | 0.3MPa | 法兰 | 软管接头 |
| EF-010G | 100~1500 | 170×430 | 0.5MPa | Rc1/2 | Rc1 |
| EF-020G | 300~3000 | 170×880 | 0.5MPa | Rc1 | Rc1/2 |
| EF-040P | 500~5000 | 180×673 | 0.6MPa | JIS10K 25A 法兰 | ISO15A 套口 |
| EF-120 | 3000~50000 | 315×850 | 0.6MPa | JIS10K 80A 法兰 | Rc1 |
半导体行业:超纯水 ppb 脱氧、CO₂溶水防静电、湿法清洗氢水制备;
精密清洗:超声波清洗水除泡、光伏 / 电子零部件纯水脱气;
锅炉供水:给水脱氧防管道腐蚀;
实验室纯水机、去离子水设备;
工业功能水:氮气饱和水、臭氧水稳定制备。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 接触液材质 | PMP 膜丝 + PP/PSU 外壳 + 食品级密封 |
| 适用介质 | 纯水、超纯水、弱酸碱清洗液、含微量表面活性剂水溶液 |
| 液体侧最高耐压 | PF:0.3MPa;EF 小型 0.3MPa / 中大型 0.5~0.6MPa |
| 气体侧耐压 | 真空负压 ≤-0.095MPa;供气正压 ≤0.1MPa |
| 使用温度 | 2~40℃ |
| 脱气精度 | 出水残氧 1~10ppb(匹配半导体 12 寸晶圆标准) |
| 核心优势 | 脱气 / 溶气二合一、低压力损失、小型化、可反向清洗、无金属析出 |