简要描述：USHIO 牛尾 USH 系列超高压短弧纯汞灯
USHIO 牛尾 USH 系列（超高压短弧纯汞灯） 产品本质：纯汞无氙、极短电弧 (0.5~3mm) 点光源，主峰 365 (i-line)/405 (g-line)/436nm，半导体小曝光、点固化、晶圆检测专用

一、主力型号电气 / 光学参数汇总

点灯姿态：立式 ±45° 安装，适配聚光镜 / 光纤耦合光路

二、各型号半导体细分应用场景

1、USH-102D（100W 标准版）

1. 晶圆小片手动接触式光刻（分立器件、MOS、二极管试样打样）

2. IC 芯片返修：开盖后 UV 胶去除、修补光刻胶

3. 摄像头 VCM、COB 芯片微型 UV 点固化（光纤导光单点照射）

4. PCB/FPC 打样、干膜小区域修补曝光

2、USH-103D（100W 长寿命）

1. 晶圆金相显微镜、探针台外观检查光源（365nm 激发晶圆杂质荧光）

2. 封装后 BGA、QFP 空洞荧光探伤、塑封料缺陷检测

3. 小型离线 UV 固化机（引线框补强胶固化）

替换欧司朗 HBO100，国产荧光显微镜标配替换件

3、USH-250D（250W 量产入门）

1. 实验室 UX-1、MA4/6 小台面光刻机标配光源（4 寸晶圆研发光刻）

2. FC 倒装芯片底部填充胶、Die Attach 点胶 UV 固化

3. 载板 RDL 小批量试样曝光、干膜显影前预曝光

4、USH-350DS/DP（350W 功率）

1. MEMS 传感器、压电晶圆微结构光刻（高深宽比光刻胶成型）

2. 卡尔苏斯 MA150、MJB 光刻机原厂标配光源

3. 功率器件 IGBT、MOSFET 钝化层 UV 固化、晶圆剥膜

5、USH-500D（500W 大功率）

1. 6 寸晶圆小批量步进曝光、PCB-HDI 样板量产

2. 厚干膜、绿油大面积 UV 固化、FPC 补强量产线光源

三、通用行业补充（非半导体）

四、和 UXM 系列简易区分

• USH：纯汞灯，点光源，小功率、小面积曝光 / 点固、实验室 / 返修

• UXM：汞氙灯，大功率，量产步进机、整版载板大批量曝光