简要描述：HORIBA 堀场 热型通用PI 质量流量控制器
该质量流量模块采用可靠的热式流量传感器，具备多显示和PI（主指示器）功能，可用于构建简单轻便的气体管路。其精度高达±1% SP，响应速度仅需1.0秒。

HORIBA 堀场 热型通用PI 质量流量控制器
HORIBA 堀场 热型通用PI 质量流量控制器
它配备了先进的算法
即使在压力快速波动的情况下也能实现稳定的流量控制，从而无需在每条燃气管路中设置压力控制功能，从而简化了燃气管路配置。

• 多量程/多气体功能
  允许用户更改气体类型和满量程流量。

• 1秒内实现全范围高速响应

• 它省去了调节器、压力表和过滤器，从而使燃气管路更加紧凑。

• 不受一次和二次压力波动的影响。

• 包含进气压力传感器

• 配备多显示功能

• 
  保证流量精度高达 1% SP。

• 超洁净
  金属膜片，全不锈钢材质，标准内部抛光。

• 它具有内置网络功能，并由数字信号控制。

SEC-Z700X/Z700S 压力不敏感热式（gao端薄膜 / 3D NAND）
定位：内置压力补偿热式，上下游压力波动不漂移，高真空工艺
压电阀，超低速漂移，耐 Cl₂、WF₆等强腐蚀气体，可选 PFA 湿部
量程：5 SCCM ~ 200 SLM
核心规格
自带压力传感器，上下游压力波动不漂移
压电阀，耐 WF₆、Cl₂等强腐蚀；可选 PFA 接触件
流量：5 SCCM ~ 200 SLM
代表型号：SEC-Z712S、SEC-Z724S、SEC-Z734S、SEC-Z774S

SEC-E 经济型模拟热式（低端设备、实验室）

纯模拟 0-5V，电磁阀，成本低；量程 10 SCCM~200 SLM型号：SEC-E40、E50、E60、E70