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| 品牌 | HORIBA/堀场 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 质量式 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 电子/电池,航空航天,电气,半导体,机械设备 |
HORIBA 堀场 热型通用PI 质量流量控制器
HORIBA 堀场 热型通用PI 质量流量控制器
它配备了优良的算法
即使在压力快速波动的情况下也能实现稳定的流量控制，从而无需在每条燃气管路中设置压力控制功能，从而简化了燃气管路配置。
多量程/多气体功能
允许用户更改气体类型和满量程流量。
1秒内实现全范围高速响应
它省去了调节器、压力表和过滤器，从而使燃气管路更加紧凑。
不受一次和二次压力波动的影响。
包含进气压力传感器
配备多显示功能
保证流量精度高达 1% SP。
超洁净
金属膜片，全不锈钢材质，标准内部抛光。
它具有内置网络功能，并由数字信号控制。
SEC-Z700X/Z700S 压力不敏感热式（gao端薄膜 / 3D NAND）
定位：内置压力补偿热式，上下游压力波动不漂移，高真空工艺
压电阀，超低速漂移，耐 Cl₂、WF₆等强腐蚀气体，可选 PFA 湿部
量程：5 SCCM ~ 200 SLM
核心规格
自带压力传感器，上下游压力波动不漂移
压电阀，耐 WF₆、Cl₂等强腐蚀；可选 PFA 接触件
流量：5 SCCM ~ 200 SLM
代表型号：SEC-Z712S、SEC-Z724S、SEC-Z734S、SEC-Z774S
量程：10 SCCM ~ 150 SLM，数字 + 模拟双输出
本体耐温 120℃，整机烘烤最高 150℃
防止液态源冷凝堵塞管路
流量 10 SCCM~150 SLM
ALD、CVD 液态前驱体鼓泡供气系统（TEOS、TMA、Ti 源）
高温氧化炉、金属有机 MOCVD 设备
易冷凝金属有机气体输送
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