产品型号
厂商性质
更新时间
浏览次数
相关文章
| 品牌 | HORIBA/堀场 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 质量式 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 电子/电池,航空航天,电气,半导体,机械设备 |
进口HORIBA 堀场 数字式质量流量计
进口HORIBA 堀场 数字式质量流量计
它配备了优良的算法
即使在压力快速波动的情况下也能实现稳定的流量控制，从而无需在每条燃气管路中设置压力控制功能，从而简化了燃气管路配置。
多量程/多气体功能
允许用户更改气体类型和满量程流量。
1秒内实现全范围高速响应
它省去了调节器、压力表和过滤器，从而使燃气管路更加紧凑。
不受一次和二次压力波动的影响。
包含进气压力传感器
配备多显示功能
保证流量精度高达 1% SP。
超洁净
金属膜片，全不锈钢材质，标准内部抛光。
它具有内置网络功能，并由数字信号控制。
供电：DC24V
模拟信号：0~5V（设定 / 反馈）、4-20mA 可选
数字总线：RS485 (F-NET)、EtherCAT、DeviceNet、CC-Link、Profibus
控制范围：2%~100% FS；宽量程款 0.1%~100% FS
精度：±1.0% 设定值 SP（30% FS 以上）；±0.3% 满量程 FS
响应 T98：热式≤1s；差压 D 系列≤100ms
工作温度：15~45℃；高温 8000 系列本体最高 120℃，烘烤 150℃
管路密封：标准 316L 不锈钢，可选 PFA 湿部适配强腐蚀气体
接口：1/4" VCR 金属密封（半导体）、双卡套（通用工业）
| 基础型号 | 标准满量程区间 (N₂) | 流量等级 | 常用后缀 |
|---|---|---|---|
| SEC-N102 | 10~100 SCCM | 超微流量 | MGM (模拟)、MGR (RS485) |
| SEC-N112 | 100 SCCM~1 SLM | 微小流量 | MGM/MGR/MG |
| SEC-N114 | 1~10 SLM | 中小流量 | MGM/MGR/EC |
| SEC-N122 | 1~10 SLM | 中流量 | MG/MGR |
| SEC-N124 | 5~30 SLM | 中大流 | MGM/EC |
| SEC-N132 | 10~50 SLM | 大流量 | MG |
| SEC-N134 | 20~100 SLM | 大流量 | EC/MGR |
| SEC-N142 | 50~200 SLM | 超大流量 | MGR |
| SEC-N144 | 100~300 SLM | 超大流量 | EC |
| SEC-N172/N174/N177 | 200~1000 SLM | 特大量程 | R/EC |
流量区间：10 SCCM ~ 1000 SLM
阀体：电磁阀，性价比高
通讯全配：模拟 / RS485/EtherCAT/ 现场总线齐全
特色：多气体 MG、宽压力兼容，维护成本低
光伏行业：PECVD、扩散炉、刻蚀、制绒设备主气路
光学镀膜：AR 减反膜、ITO 导电膜、装饰镀膜机
泛工业：真空烧结、等离子清洗、尾气处理、实验炉
中小型国产 CVD、PVD、科研实验室设备
| 基础型号 | 标准满量程区间 (N₂) | 流量等级 | 常用完整型号 |
|---|---|---|---|
| SEC-Z512X | 5~100 SCCM | 超微流量 | SEC-Z512MGX |
| SEC-Z514X | 100 SCCM~5 SLM | 微小流量 | SEC-Z514MGX |
| SEC-Z522X | 1~10 SLM | 中小流量 | SEC-Z522MGX |
| SEC-Z524X | 5~30 SLM | 中流量 | SEC-Z524MGX |
| SEC-Z534X | 10~100 SLM | 中大流量 | SEC-Z534MGX |
| SEC-Z544X | 100~300 SLM | 大流量 | SEC-Z544MGX |
| SEC-Z574X | 300~500 SLM | 超大流量 | SEC-Z574MGX |
流量：5 SCCM ~ 500 SLM
阀体：压电阀，低泄漏，超高纯洁净腔体
标配 MR・MG 多量程多气体、EtherCAT
超低漏率，SEMI 洁净标准，适配批量量产机台
8 寸 / 12 寸成熟制程：逻辑、存储、功率半导体
PVD 溅射、多晶硅 CVD、干法刻蚀、氮化 / 氧化工艺
LED/Mini LED、Micro LED 外延、芯片封装等离子清洗
量产产线高稳定连续生产
产品分类
上一篇
