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| 品牌 | HORIBA/堀场 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 能源,电子/电池,汽车及零部件,电气,半导体 |
HORIBA堀场STEC VG 系列电容式膜片真空计
HORIBA堀场STEC VG 系列电容式膜片真空计
它是最小的自调节温度型设备之一。
独特的电极结构实现了高精度和稳定性。
采用镍合金制成的隔膜，具有优异的耐腐蚀性。
设定点输出（2 点）
报警输出
使用专用软件进行设定点设置
一键开启 Re Zero
电源兼容±15VDC和24VDC。
符合CE和RoHS标准
无气体种类依赖性：不区分 N₂、Ar、Cl₂、WF₆、NH₃等工艺气体，读数不受气体分子量影响；
直接测绝对压力，不受车间大气压波动干扰；
金属膜片耐氟 / 氯腐蚀气体，适配半导体腐蚀制程。
温控三档可选：常温无加热 / 55℃ / 100℃自恒温，防止水汽、弱酸气体凝露
接液材质：SUS316L 不锈钢隔膜，全金属电解抛光流路，低析出、低吸附
精度：±0.25% 读数，分辨率 0.01% FS，响应时间＜60ms
标准满量程（绝压 Torr/kPa）：
10T (133.32Pa)、100T (1.3332kPa)、1000T (133.32kPa)
电气输出：0~10VDC 模拟信号；D-Sub15 接口，2 组可自定义压力报警触点、一键 ReZero 归零
供电：±15VDC / 24VDC 双兼容；CE、RoHS、SEMI 洁净标准
标准接口：1/2"VCR 母头、KF16、ICF34 金属密封接头
| 型号 | 满量程绝压 | 推荐温控 | 典型应用 |
|---|---|---|---|
| VG-221S | 10Torr(133Pa) | 55/100℃ | ALD 微量低压腔体、微量载气腔 |
| VG-231S | 100Torr(1.33kPa) | 55/100℃ | 干法刻蚀、PVD 主腔标准量程 |
| VG-241S | 1000Torr(133kPa) | 常温 / 55℃ | 预处理腔、粗抽、常压吹扫监测 |
传感器温控区间：100℃~200℃可定制，全程高温恒温
隔膜升级 Ni 合金，耐受高浓度卤化物、金属有机前驱体
极低温漂系数，管道整体加热工况下零点不漂移
量程同 VG-200S，支持 EtherCAT 数字通讯型号 VG-527
极限承压 350kPa (A)，适配鼓泡源、ALD 高温管路
| 型号 | 满量程绝压 | 温控规格 | 工艺定位 |
|---|---|---|---|
| VG-521S | 10Torr | 100~200℃定制 | 高温 ALD 微量前驱体腔体 |
| VG-531S | 100Torr | 100~200℃定制 | MOCVD、高温 CVD 沉积腔 |
| VG-541S | 1000Torr | 100~200℃定制 | 高温管路、鼓泡器压力监测 |
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