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| 品牌 | HORIBA/堀场 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 能源,电子/电池,汽车及零部件,电气,半导体 |
HORIBA 堀场GR-500 系列自动压力调节器
HORIBA 堀场GR-500 系列自动压力调节器
控制结构：高速压电阀 + 内置 VG 同款电容式膜片压力传感器，闭环实时调压
du有设计：集成内置质量流量传感模块，同时监测压力 + 冷却气体流量，同步监控晶圆贴合泄漏、管路堵塞
测量优势：电容式绝压检测，不受气体种类、大气压波动干扰，低压区间控制精度大幅优于老式 GR-300
超低压力量程覆盖（行业短板补齐）
新增 10Torr / 20Torr / 50Torr 低压档位，搭配传统 100Torr 量程，适配优良制程超低背氦工艺；
超高控制精度
压力控制精度 ±0.5% FS，压电阀毫秒级响应，抑制气源波动、腔室抽气带来的压力漂移；
半导体高纯洁净标准
全金属 SUS316L 电解抛光流路，He 泄漏率≤7×10⁻¹¹ Pa・m³/s，无橡胶析出，适配高纯 He/Ar；
双信号监测预警
压力闭环控制 + 流量实时采集，流量异常即可判定晶圆翘曲、卡盘密封漏气，提前预警片内温差缺陷；
多通讯兼容
标准 0~5V 模拟信号；gao端型号搭载 EtherCAT 总线，适配 8/12 寸全自动量产机台中控；
紧凑型机身
尺寸 169.2×34×139mm，标准 EIA 机架式，多通道密集排布不占用腔体空间
| 参数项 | 标准指标 |
|---|---|
| 标准型号 | GR-511F（全系主力出货款） |
| 控制量程 | 10/20/50/100 Torr（绝压，多档位可选） |
| 阀门形式 | 常闭压电阀 C 型 |
| 最大工作压力 | 300 kPa(A) |
| 耐压 | 350 kPa(A) |
| 气体介质 | He、Ar 等惰性导热气体 |
| 接口规格 | 1/4" VCR 金属密封（半导体通用） |
| 供电 | DC24V |
| 输出信号 | 模拟 0~5V / EtherCAT 数字总线 |
| 防护合规 | RoHS、SEMI 洁净标准 |
| 整机重量 | 1.5kg |
| 基础型号本体 | 满量程绝压 | 适用工艺场景 |
|---|---|---|
| GR-511F-10 | 10 Torr（1.333kPa） | 28nm 以下优良逻辑、ALD 超低背氦、超薄栅极刻蚀 |
| GR-511F-20 | 20 Torr（2.666kPa） | 3D NAND 高纵深刻蚀、深沟槽工艺 |
| GR-511F-50 | 50 Torr（6.666kPa） | SiC/GaN 功率半导体、Mini LED 芯片刻蚀 |
| GR-511F-100 | 100 Torr（13.33kPa） | 8 寸成熟制程、PVD/CVD、LED 外延通用标准款 |
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