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| 品牌 | HORIBA/堀场 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 能源,电子/电池,汽车及零部件,电气,半导体 |
HORIBA 堀场GR-300 系列自动压力调节器
HORIBA 堀场GR-300 系列自动压力调节器
GR-300系列压力控制器可为氦气、氩气等传热气体提供稳定、高精度的压力控制，这些气体对于晶圆背面的温度控制至关重要。该系列控制器配备高速、高分辨率压电阀和质量流量传感器，不仅能够提供精确稳定的差压控制，还能进行流量测量。
| 参数项 | 标准指标 |
|---|---|
| 满量程压力 | 固定 100 Torr（无 10/20/50Torr 低压档） |
| 阀门 | 常闭压电阀 C 型 |
| 压力控制精度 | ±0.5%FS |
| 响应速度 | ≤1s |
| 最大工作压力 | 250kPa (A)，耐压 300kPa (A) |
| 外部漏率 | He ≤5×10⁻¹² Pa·m³/s |
| 适配气体 | He、Ar、N₂ |
| 标准接口 | 1/4" VCR 金属密封 |
| 接液材质 | SUS316L 电解抛光 |
| 供电 | ±15V / DC24V 两种版本 |
| 压力信号 | 0~10VDC 设定 / 反馈 |
| 流量量程可选 | 20 / 50 / 100 SCCM（内置流量传感器） |
| 通讯 | 模拟 0-10V、RS485 (F-NET)、DeviceNet、EtherCAT |
GR-312：小流量传感（20SCCM）
GR-314：中流量传感（50SCCM）
GR-317：大流量传感（100SCCM）
后缀F：带内置流量传感器（市面主流）；无 F = 无流量监测
仅单一 100Torr 量程，无 10/20/50Torr 低压规格，28nm 以下优良工艺不适用；
低压区间零点漂移明显，对比 GR-500 低压稳定性差距大；
紧凑型 EIA 机架尺寸，与 SEC MFC 安装孔位通用，老设备替换兼容性好；
全金属低漏流路，适配 8 寸成熟逻辑、功率器件、LED 产线；
流量三档可选：20/50/100SCCM，匹配不同尺寸晶圆背氦消耗量。
存量 8 寸干法刻蚀、多晶硅 CVD、金属沉积、PVD 溅射设备；
LED 外延、Mini LED 成熟芯片产线；
功率半导体 SiC/GaN 成熟制程（不适合超低背氦工艺）；
老设备维修替换、产线改造备件采购。
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