NMS野村微水MiniPure小型中试超纯水机
NMS野村微水MiniPure小型中试超纯水机
MiniPure系列是一款一体化系统，可去除自来水中的杂质，轻松提供纯净水和超纯水。它无需复杂的安装，安装后即可立即使用。
与定制系统相比，它在各个方面都具有zhuo越的性价比，包括更短的施工时间、更低的成本和更节省空间。
它提供的纯净水和超纯水适用于清洗半导体、平板显示器（FPD）基板和电子电路板。

1.MINIPURE 系列（小型 / 中试）：

S-100：实验室纯水，离子交换 + 过滤。

实验室用纯水，科研实验室用纯水
TW-250/500：电子级超纯水，MF 膜终端过滤，适合中小型清洗站。

MINIPURE 小型 / 中试超纯水机（*常用）

S-100：实验室纯水，非再生离子交换 + 过滤；420×300×1380mm

TW-180R：紧凑型纯水，活性炭 + 低压 RO；350×650×H1000mm

TW-250：超纯水，多级离子交换 + MF 终端过滤；1000×400×2010mm
TW-300R：标准型纯水，活性炭 + RO；带脚轮
TW-300RU：超纯水（RO + 离子交换 + TOC-UV+UF）；1400×600×1800mm
TW-500：超纯水，同 TW-250，流量更大
TW-L1000 / L2000 / L3000：大型纯水（L = 标准纯水）；L2000：1800×1800×2000mm
TW-U1000 / U2000 / U3000：大型超纯水（U = 超纯水，含 TOC-UV+UF）；U2000：1200×1500×2000mm

2. NOMURACKS® 厂级模组系统（大型 Fab 主力）

EPU-03场景：晶圆厂局部片区、独立制程单元供水核心：小流量模组，模块化拼接，扩容灵活
EPU-10场景：标准中型芯片厂房、主流量产产线总供水核心：通用主力机型，水质稳定，适配多数成熟制程
EPU-20×2场景：大型晶圆厂分区供水、多条产线并联用水核心：双模组并联，大流量，负载能力强
EPU-50 / EPU-100场景：优良制程大厂、全厂区集中供水（3nm/2nm 等优良工艺）核心：超大流量，杂质控制至 ppt 级别，匹配**晶圆制造

3. 超纯水核心单元组件

HERO® 高效 RO场景：整套纯水系统前端预处理核心：高脱盐率，耐污染，延长后端滤芯寿命
HE-VDG 真空脱气 / AQURUS® 膜脱气场景：全等级超纯水制程中段核心：去除水中溶解气体，避免清洗产生气泡、影响良率
EDI 电去离子场景：超纯水深度除离子段核心：连续制水，无需化学再生，适配量产线连续运行
FINESEP® NFS 膜预处理场景：原水前端过滤、整套系统前置防护核心：拦截泥沙、胶体，保护后端精密模组
HEATMASTER® HM 热再生过滤场景：高负荷、长期连续运行的纯水系统核心：可热再生，耗材寿命长，降低运维成本

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简要描述：NMS野村微水MiniPure小型中试超纯水机
NMS（野村微科学）在半导体领域的核心产品围绕超纯水系统、防静电设备、水处理化学品及监测仪器四大类，覆盖晶圆清洗、制程防损、废水回用等关键环节。

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2. NOMURACKS® 厂级模组系统（大型 Fab 主力）

3. 超纯水核心单元组件

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