NMS野村微水Monitor回水污染在线监测仪

简要描述：NMS野村微水Monitor回水污染在线监测仪
NMS（野村微科学）在半导体领域的核心产品围绕超纯水系统、防静电设备、水处理化学品及监测仪器四大类，覆盖晶圆清洗、制程防损、废水回用等关键环节。

Name: NMS野村微水Monitor回水污染在线监测仪NOXiEMON&#174;
Brand: NMS/野村微水
Availability: InStock

基础信息

产品型号

NOXiEMON®

厂商性质

经销商

更新时间

2026-07-22

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产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

NMS野村微水

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详细介绍

品牌	NMS/野村微水	供货周期	现货

NMS野村微水Monitor回水污染在线监测仪
NMS野村微水Monitor回水污染在线监测仪

这是一种新型的超纯水过yang化qin（ H₂O₂ ）监测器。通过使用我们专有的N-Lite® DEP（酶支持树脂），我们实现了世界上shou款无化学试剂的H₂O₂监测器。

标准规格

测量方法：N-Lite® DEP+DO 仪
尺寸：600毫米 x 600毫米 x 1200毫米
重量：约100公斤
测量限值：60 ppb
检测下限：0.3 ppb（当溶解氧变化在 0.1 ppb 以内时）
其他功能：自诊断功能、自动冲洗启动

特征

N-Lite® DEP 的简单测量原理是将H₂O₂分解成 O₂ ，然后用溶解氧仪测量生成的 O₂ 。
由于未
使用任何化学品，也未添加任何添加剂，因此维护起来很容易。
N-Lite® DEP非常适合超纯水，还可以测量 TOC-UV 产生的 2O2，而不会受到干扰物质的
影响。
它具有自动检测 N-Lite® DEP 劣化情况的功能，并具备自诊断能力。

配套监测仪器

RC Monitor 回水污染在线监测场景：所有超纯水回路、清洗水回用管路核心：实时检测离子、颗粒污染，提前预警制程异常
H₂O₂ Monitor（NOXiEMON®）场景：双氧水清洗液管路、氧化清洗制程核心：实时监控过yang化qin浓度，保证清洗配方稳定，提升清洗效果

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