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| 品牌 | DIAVAC/大亚真空 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气,半导体 |
DIAVAC 大亚真空 3DA 系列真空计
DIAVAC 大亚真空 3DA 系列真空计
通用基础规格（全部机型一致）
供电：AC100～240V 50/60Hz
采样周期：100ms
模拟记录仪输出：DC 0～5V / 0～10V（可选）
通讯选项：RS485/RS422A，单总线*多 16 台组网
工作温度：0～40℃
安装：483mm 标准机架（19 英寸盘装）
表格
| 型号 | 测量原理 | 量程范围 | 标配设定点 | 配套探头 | 核心特点 |
|---|---|---|---|---|---|
| PT-3DA | 皮拉尼 Pirani（热传导） | 1×10⁵ Pa ～ 1×10⁻¹ Pa大气压～0.1Pa | 6 点继电器 | PSG-1 皮拉尼规*多可接 3 支探头，3 通道同时显示 | 粗 / 中真空专用；多通道监测；大量控制点 |
| CT-3DA | 冷阴极电离规 CCG（Penning） | 4.9×10⁻¹ Pa ～ 1×10⁻⁶ Pa0.5Pa ~ 10⁻⁶Pa | 2 点继电器 | C-4A 冷阴极规接口可选 NW25 / ICF70 | 无灯丝、长寿命；适合不含大量碳氢油蒸汽高真空；不能在大气压直接启动 |
| IT-3DA | 热阴极电离规（BA 型） | 9.9×10⁻² Pa ～ 1×10⁻⁷ Pa0.1Pa ~ 10⁻⁷Pa | 2 点继电器 | BA 型热阴极规 | 超高真空测量；带除气 (DEGAS) 功能；灯丝耗材，不能暴露大气 |
| PC-3DA | 组合式真空计PT 皮拉尼 + CT 冷阴极联动 | 1×10⁵ Pa ～ 1×10⁻⁶ Pa大气压～10⁻⁶Pa | 6 点继电器 | PSG-1（皮拉尼）+ C-4A（冷阴极）一套 | 全量程覆盖，自动切换传感器；一台实现从大气抽到高真空全程监 |
测量区间：大气压 → 0.1Pa（粗真空、低中真空） ✅ 优势：
可直接接触大气，启停无需保护；
*多 3 路皮拉尼探头同时接入，同时显示；
6 组压力阈值继电器，适合真空泵启停、粗抽阀自动控制。 ⚠️ 局限：气体种类影响读数（对空气标定，氩气、氮气读数偏差）。 运用场景
真空炉粗抽系统、冷冻干燥设备
镀膜机粗抽管路监测
锂电池真空烘箱、真空脱泡
普通中小型干式泵、旋片泵前端压力监测
需要多点真空压力同步采集的产线
测量区间：0.5Pa ～ 1×10⁻⁶ Pa（中高真空） ✅ 优势：
无灯丝，相比热阴极寿命大幅更长；耐短暂离子轰击；
结构简单，适合长期连续运行； ⚠️ 局限：压力＞1Pa 无法启辉；不能在大气下通电；油蒸汽、粉尘易污染规头。 运用场景
光学镀膜、PVD 溅射机高真空监测
半导体干泵机组高真空腔体
电子束蒸发设备、科研高真空腔体
不希望频繁更换灯丝的连续生产设备
测量区间：0.1Pa ～ 1×10⁻⁷ Pa（高真空～超高真空） ✅ 优势：测量下限*低，可达 10⁻⁷Pa；支持规管除气功能。 ⚠️ 局限：内置钨灯丝；一旦真空恶化暴露大气极易烧断灯丝；需要联锁保护。 运用场景
超高真空实验腔体、表面分析设备
MBE、电子显微镜配套真空系统
需要监测 10⁻⁷Pa 量级精密真空工艺
量程：大气压～1×10⁻⁶ Pa，全自动跨量程切换 工作逻辑： 压力高区间使用皮拉尼 PSG-1；真空达到切换阈值，自动启动冷阴极 C-4A，无缝衔接。 ✅ 优势：单台覆盖整套抽气全过程，无需两套控制器；6 组继电器，方便粗抽阀、高阀、泵组时序联锁。 运用场景（半导体 / 镀膜主流选型）
磁控溅射、光学镀膜机整套真空监测
半导体刻蚀、薄膜沉积设备腔体压力监控
科研多功能真空腔体
真空设备自动化控制、FA 工厂自动化产线
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