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DIAVAC 大亚真空3W 系列三通夹紧阀

简要描述:DIAVAC 大亚真空3W 系列三通夹紧阀
■ 与球阀不同,该阀的阀瓣密封件压紧在阀杆上,消除了密封材料摩擦的问题。 ■ 该气动三通阀利用压缩空气,通过两个三通电磁阀进行粗调和辅助操作,从而实现阀门的开启和关闭。 ■ 通过安装可选的簧pian开关,可以检测阀门的开启/关闭位置。

基础信息

产品型号

3W-25

厂商性质

经销商

更新时间

2026-07-24

浏览次数

6
详细介绍
品牌DIAVAC/大亚真空应用领域电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气,半导体

DIAVAC 大亚真空3W 系列三通夹紧阀
DIAVAC 大亚真空3W 系列三通夹紧阀

3W 系列分为3W(手动型)、3AW(气动型)两大分支,KF/NW 标准法兰真空三通阀,属于L 型流向切换阀;三通道定义:

  • C 口:腔体侧(Common 公共口)

  • R 口:粗抽 / 真空泵侧

  • F 口:破空 / 放气旁路侧 工作逻辑二选一:C↔R 连通(抽真空)C↔F 连通(腔体破空)不会三路同时互通

一、全部型号总参数表

表格

型号驱动方式法兰规格电导 C-R (L/s)电导 C-F (L/s)本体漏率重量气源压力
3W-25手动NW25(KF25)137≤1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s2.5kg无需气源
3W-40手动NW40(KF40)4023≤1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s4.8kg无需气源
3AW-25气动NW25(KF25)137≤1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s2.7kg0.29~0.49 MPa
3AW-40气动NW40(KF40)4023≤1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s5.0kg0.29~0.49 MPa

通用基础规格(全系统一)

  1. 阀体材质:SUS304 不锈钢

  2. 标准密封:FKM 氟橡胶;可选 Kalrez 全氟醚橡胶(耐腐蚀工艺气体)

  3. 允许阀座压差:*大 0.1 MPa(大气压压差)

  4. 使用寿命:室温环境 ≥10 万次启闭

  5. 适用真空区间:大气压 ~ 1×10⁻⁶ Pa(粗真空、中高真空)

  6. *高使用温度:70℃(标准 FKM);不支持高温烘烤

  7. 可选配件:限位簧pian开关(反馈阀门位置,接入 PC-3DA/PT-3DA 真空计做联锁)

⚠️重要结构特点 区别于普通三通球阀:阀盘采用面压紧密封,无球阀持续摩擦磨损问题,真空密封性长期稳定;切换时经过中间隔离位,不会出现抽气口与放气口直接互通。

工作流程(标准管路接法)

  • C → R:腔体 ↔ 真空泵 → 抽真空模式

  • C → F:腔体 ↔ 大气(放气阀 / 微调破空) → 破空泄压模式 一台阀门替代「粗抽角阀 + 独立放气阀」,简化管路布局、减少法兰泄漏点。

四、适用运用场景

1)实验室小型真空腔体

小型蒸发设备、真空脱泡、样品预处理腔体;手动款 3W-25 *常用,一键切换抽气 / 破空。

2)中小型镀膜设备(磁控溅射、电阻蒸发)

搭配 PC-3DA 组合真空计 自动化时序: 真空计监测压力达标后,程序控制 3AW 气动三通阀切换腔体破空开盖;省去两只独立 LCAV 角阀,缩小机架安装空间。

3)锂电池真空烘箱、小型真空封装设备

腔体抽真空与泄压自动切换;避免复杂阀组,降低管路成本。

4)检漏系统、预抽站旁路

小型预抽真空机组,腔体预抽完成后破空换样;适合频繁开盖取样工况。

5)配套 DIAVAC 真空计成套方案推荐

  • 手动设备:3W-25 + PT-3DA(皮拉尼真空计)

  • 自动化产线:3AW-25/3AW-40 + PC-3DA(皮拉尼 + 冷阴极组合真空计)


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