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| 品牌 | DIAVAC/大亚真空 | 应用领域 | 电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气,半导体 |
|---|
DIAVAC 大亚真空3W 系列三通夹紧阀
DIAVAC 大亚真空3W 系列三通夹紧阀
3W 系列分为3W(手动型)、3AW(气动型)两大分支,KF/NW 标准法兰真空三通阀,属于L 型流向切换阀;三通道定义:
C 口:腔体侧(Common 公共口)
R 口:粗抽 / 真空泵侧
F 口:破空 / 放气旁路侧 工作逻辑二选一:C↔R 连通(抽真空) 或 C↔F 连通(腔体破空);不会三路同时互通。
表格
| 型号 | 驱动方式 | 法兰规格 | 电导 C-R (L/s) | 电导 C-F (L/s) | 本体漏率 | 重量 | 气源压力 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 3W-25 | 手动 | NW25(KF25) | 13 | 7 | ≤1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s | 2.5kg | 无需气源 |
| 3W-40 | 手动 | NW40(KF40) | 40 | 23 | ≤1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s | 4.8kg | 无需气源 |
| 3AW-25 | 气动 | NW25(KF25) | 13 | 7 | ≤1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s | 2.7kg | 0.29~0.49 MPa |
| 3AW-40 | 气动 | NW40(KF40) | 40 | 23 | ≤1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s | 5.0kg | 0.29~0.49 MPa |
阀体材质:SUS304 不锈钢
标准密封:FKM 氟橡胶;可选 Kalrez 全氟醚橡胶(耐腐蚀工艺气体)
允许阀座压差:*大 0.1 MPa(大气压压差)
使用寿命:室温环境 ≥10 万次启闭
适用真空区间:大气压 ~ 1×10⁻⁶ Pa(粗真空、中高真空)
*高使用温度:70℃(标准 FKM);不支持高温烘烤
可选配件:限位簧pian开关(反馈阀门位置,接入 PC-3DA/PT-3DA 真空计做联锁)
⚠️重要结构特点 区别于普通三通球阀:阀盘采用面压紧密封,无球阀持续摩擦磨损问题,真空密封性长期稳定;切换时经过中间隔离位,不会出现抽气口与放气口直接互通。
C → R:腔体 ↔ 真空泵 → 抽真空模式
C → F:腔体 ↔ 大气(放气阀 / 微调破空) → 破空泄压模式 一台阀门替代「粗抽角阀 + 独立放气阀」,简化管路布局、减少法兰泄漏点。
小型蒸发设备、真空脱泡、样品预处理腔体;手动款 3W-25 *常用,一键切换抽气 / 破空。
搭配 PC-3DA 组合真空计 自动化时序: 真空计监测压力达标后,程序控制 3AW 气动三通阀切换腔体破空开盖;省去两只独立 LCAV 角阀,缩小机架安装空间。
腔体抽真空与泄压自动切换;避免复杂阀组,降低管路成本。
小型预抽真空机组,腔体预抽完成后破空换样;适合频繁开盖取样工况。
手动设备:3W-25 + PT-3DA(皮拉尼真空计)
自动化产线:3AW-25/3AW-40 + PC-3DA(皮拉尼 + 冷阴极组合真空计)