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| 品牌 | DIAVAC/大亚真空 | 应用领域 | 电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气,半导体 |
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DIAVAC 大亚真空BV 系列气动波纹管直通阀
DIAVAC 大亚真空BV 系列气动波纹管直通阀
阀体材质：SUS304 不锈钢；波纹管 SUS316L 成型金属波纹管
标准密封：FKM 氟橡胶 O 圈；可选 Kalrez 全氟醚橡胶（耐腐蚀工艺气体、等离子环境）
适用真空区间：大气压 ～ 1×10⁻⁶ Pa（粗真空→高真空）
允许压差：阀座*大压差 0.1 MPa（大气压压差）
*高使用温度：标准 FKM 密封*高 80℃；不支持高温烘烤
驱动形式：单作用气动（弹簧复位，失气自动关闭，**型）
使用寿命：常温环境 ≥80 万次启闭
可选配件
开 / 关限位微动开关（阀门位置信号反馈，对接 3DA 真空计、PLC 联锁）
加长波纹管、定制线缆
⚠️核心结构优势 普通角阀阀杆填料处存在润滑脂渗透挥发风险；BV 依靠金属波纹管wan全隔离大气侧气缸与真空腔体，零有机物挥发，腔体不受外部油脂污染。
表格
| 型号 | 法兰规格 | 通径 | 导通电导 (L/s) | 本体漏率 (He) | 气源压力 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BV-25 | NW25(KF25) | 25mm | 14 | ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s | 0.29～0.49 MPa | 2.9kg |
| BV-40 | NW40(KF40) | 40mm | 42 | ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s | 0.29～0.49 MPa | 4.6kg |
| BV-50 | NW50(KF50) | 50mm | 78 | ≤1×10⁻⁹ Pa·m³/s | 0.29～0.49 MPa | 6.8kg |
扩散泵入口隔离主阀；防止扩散泵油蒸汽返流污染腔体；搭配 HV 挡板阀组成双道隔离；配套 CT-3DA 冷阴极真空计监测高真空。
对腔体洁净度有要求，不允许润滑脂挥发造成膜层缺陷；用作腔体预抽管路隔离阀、高真空管路切断阀。
小型高真空实验台、样品预处理腔体；保护电离规（IT-3DA 热阴极规），腔体破**自动关断，防止大气冲击灯丝烧毁。
避免有机挥发物污染工件；用于真空干燥、小型腔体预抽回路；搭配 PC-3DA 组合真空计实现全自动时序控制。
管路隔离阀，杜绝外部泄漏与污染，保障检漏精度。
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