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| 品牌 | DIAVAC/大亚真空 | 应用领域 | 电子/电池,航空航天,汽车及零部件,电气,半导体 |
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DIAVAC大亚真空HV系列高真空挡板阀
DIAVAC大亚真空HV系列高真空挡板阀
HV 系列是扩散泵专用气动挡板阀，定位：腔体 ↔ 扩散泵之间主隔离阀，日系传统油扩散泵镀膜机标配；阀板内置挡板结构，自带防油返流屏障，这是 HV 和 BV、LCAV *核心区别。
重要定位区分
BV：波纹管直通阀，洁净管路隔离，无防油挡板；
LCAV/LAV-K：角阀，适合粗抽、中真空管路；
HV 挡板阀：专为扩散泵设计，阀板集成挡油结构，抑制扩散泵油蒸汽返流腔体。
表格
| 型号 | 法兰规格 | 通径 | 流导 (L/s) | He 本体漏率 | 驱动气源 | 重量 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| HV-40 | NW40(KF40) | 40mm | 38 | ≤1.3×10⁻⁹ Pa·m³/s | 0.29～0.49 MPa | 4.3kg |
| HV-50 | NW50(KF50) | 50mm | 72 | ≤1.3×10⁻⁹ Pa·m³/s | 0.29～0.49 MPa | 6.5kg |
| HV-80 | NW80(KF80) | 80mm | 135 | ≤1.3×10⁻⁹ Pa·m³/s | 0.29～0.49 MPa | 11.2kg |
阀体材质：SUS304 不锈钢
标准密封：FKM 氟橡胶；可选 Kalrez 全氟醚橡胶（腐蚀工艺气体）
适用真空区间：1×10⁵ Pa ～ 1×10⁻⁶ Pa（粗真空～高真空）
驱动形式：单作用气动、弹簧复位（失气自动关闭，**联锁）
结构核心亮点 阀板自带屏蔽挡板，阀门关闭时形成屏障，大幅阻挡扩散泵油蒸汽逆向扩散进入腔体，降低膜层污染；普通阀门无此结构。
*高使用温度：70℃（FKM 密封，不支持高温烘烤）
使用寿命：常温 ≥80 万次启闭
可选配件 磁性限位开关（阀门开 / 闭信号反馈，对接 PC-3DA / CT-3DA 真空计、PLC 时序联锁）
L 型 90° 角式挡板结构；下端法兰接扩散泵，水平法兰接腔体；
顶部直立安装气动气缸；
阀体腔体内部可见圆形挡油阀板（区别普通 LCAV 角阀内部光滑阀座）；
阀体刻印 DIAVAC HV-XX Made in Japan；
体积比同通径 LCAV 更大、腔体更深，内部容纳挡油结构。
油扩散泵入口主隔离阀。工艺结束、腔体破**关闭 HV 阀，双重阻隔扩散泵油返流； 标准成套：HV-50 + PC-3DA 组合真空计 + AV-25-A 放气阀。
传统日系蒸发设备原厂标配阀；替代改造** HV 系列，匹配原有扩散泵管路。
保护样品不受泵油污染；搭配 CT-3DA 冷阴极真空计监测高真空区间。
高真空主切断，停机隔离腔体与泵体，减少长期静置油返流。
标准扩散泵真空机组 腔体 → HV 挡板阀（主阀）→ 扩散泵 → BV 波纹管阀（扩散泵前级隔离）→ 旋片干泵粗抽管路 粗抽支路：LCAV-40 粗抽阀 + PSG-1 皮拉尼规 监测：PC-3DA 真空计实现压力联锁，压力达标自动开启 HV 阀。
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