型号	50Hz 抽速 (L/min)	进气法兰	极限真空（关气镇）	极限真空（开气镇）	电机功率	重量 (kg)
PZ-60	67	KF25	≤6.7×10⁻² Pa	≤1 Pa	0.4kW	19
PZ-100	133	KF25	≤6.7×10⁻² Pa	≤1 Pa	0.75kW	21
PZ-200	200	KF40	≤6.7×10⁻² Pa	≤1 Pa	1.1kW	30
PZ-300	333	KF40	≤6.7×10⁻² Pa	≤1 Pa	1.5kW	35
PZ-500	500	KF50	≤6.7×10⁻² Pa	≤1 Pa	2.2kW	43
PZ-600	600	KF50	≤6.7×10⁻² Pa	≤1 Pa	3.0kW	62
PZ-1000	1000	KF63	≤6.7×10⁻² Pa	≤1 Pa	3.7kW	65
PZ-1500	1500	KF63	≤6.7×10⁻² Pa	≤1 Pa	5.5kW	62

二、通用核心规格

泵结构：双级直联旋片、油密封润滑
冷却方式：风冷，无需冷却水
标配机能 ✅ 自动防返油阀：停机立刻封闭进气口，防止真空油倒灌腔体（保护镀膜腔、规管） ✅ 可调气镇阀：抽取含水汽、少量可凝蒸汽工况开启，避免水汽在泵内凝结乳化真空油
适用工作区间：大气压～ 1×10⁻¹ Pa（粗真空 / 低中真空）
电源标准：三相 AC200V（日系标准）；可选单相 / 380V 改制
润滑油：DIAVAC 专用真空油 DV-OIL
安装姿态：水平安装；禁止长时间倾斜运行
可选配件

进气粉尘过滤器、油雾分离器
减震底座、KF 波纹管减震接管
油位传感器、温度保护开关

三、产品核心优势

整机紧凑低振动、低噪音，适配镀膜机机架内置安装；
和 DIAVAC HV 扩散泵、LCAV、BV、3AW 阀门原厂配套，管路法兰统一 KF 标准；
防返油结构是镀膜系统关键优势，避免停机油污染腔体；
长期连续运转稳定，日系设备维修替换主流型号。

四、运用场景

1. 光学镀膜、电子束蒸发设备【*主流】

扩散泵专用前级泵 标准机组：PZ 旋片泵 + LCAV 粗抽阀 + HV 扩散泵挡板阀 + 扩散泵；搭配 PC-3DA 真空计时序控制。先由 PZ 将腔体预抽至 0.1Pa 级别，满足扩散泵启动条件。

2. 科研高真空实验腔体、样品预处理台

小型真空腔体粗抽；搭配 3AW 三通阀、AV 放气阀、PT-3DA 真空计组成完整手动 / 自动真空台。

3. 真空冷冻干燥、真空脱泡设备

气镇开启，耐受物料释放水蒸气；独立作为粗真空主泵。

4. 真空检漏系统、氦检预抽站

提供稳定前级真空，保障检漏仪正常启动。

5. 锂电池真空烘箱、小型真空浸渍设备

持续粗抽，去除工件内部气体与水汽。

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简要描述：DIAVAC大亚真空PZ油封式双级旋片真空泵
特征 ■8款型号齐全 ■轻巧紧凑的设计 ■所有型号均有现货，交货迅速

一、全型号标准参数表（50Hz，工业通用规格）

二、通用核心规格

三、产品核心优势

四、运用场景

1. 光学镀膜、电子束蒸发设备【*主流】

2. 科研高真空实验腔体、样品预处理台

3. 真空冷冻干燥、真空脱泡设备

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