说明：仅统计纯模拟输出变送器（无内置显示屏）；ZT60/ZT67 属于数字压力表（带显示 + 开关量），文末单独备注；洁净等级定义：UC（超洁净，**特种气**）＞EP＞BA＞GP（通用高纯）标准接口：1/4"VCR 公头；可选 3/8" VCR、UJR、CVC；接气部 SUS316L 一体焊接，UC 规格可选 Co-Ni 合金传感元件

系列型号	定位等级	精度 (23℃)	常用量程（表压 / 复合压 / 绝压）	供电 & 输出	工艺介质温度	洁净可选等级	典型运用场景	核心特点
ZT15	半导体主力标准型	±0.5% FS / ±1.0% FS（可选）	复合压：-0.1~0.3/0.5/1/2MPa表压：0~0.3/0.5/1/2/3.5/10/20MPa绝压：0~0.3/0.5/1MPa abs	DC24V4~20mA（两线）/1~5V DC	−20～70℃	UC / EP / GP	气体面板 Gas Box、特种气体供气柜、MFC 后端、刻蚀 / PVD/CVD 设备气路、大宗高纯 N2/Ar/H2 管路	死体积极小；零调 / 量程可调；响应＜1ms；出货量*大
ZT15z	ZT15 集成化改版（1.5 集成模组适配）	±0.5% / ±1.0%FS	同 ZT15	DC24V4~20mA /1~5V	−20～70℃	UC / EP / GP	1.5 集成阀组、紧凑型气体分配模块、小型 VMB 阀箱	兼容新一代集成式气路安装接口，体积优化，成本友好
ZT11	高精度 + 防爆可选通用型	±0.5%FS低温漂 ±0.02% FS/℃	复合压：−0.1~0.3~2MPa表压：0~0.3~20MPa高压*高支持 20MPa	DC24V4~20mA /1~5V	−20～70℃	UC / EP / GP	易燃易爆工艺气体（SiH4、NH3 等）、高压特种气体管路、外延设备气路；可选购增安防爆 ec 认证	IP67 防护；支持侧面外部调零；防爆规格是同系列优势
ZT17	高温工况专用变送器	±0.5%FS	复合压：−0.1~0.3/0.5/1MPa表压：0~0.3/0.5/1/2MPa	DC24V4~20mA /1~5V	介质−20～200℃	EP/GP（UC 可定制）	扩散炉、LPCVD、炉体近端高温工艺气监测；无需加长引压管	耐高温核心元件，解决炉区高温环境测量漂移；支持 1.125"W-seal 平面安装
EJ95	防爆本安型**变送器	±0.5%FS	−0.1～20MPa 全量程覆盖	DC24V 4~20mA	−20～70℃	UC/EP	剧毒、易燃易爆特种气体、海外项目气体面板	具备本安防爆认证；多用于海外 Fab、高危特种气输送系统

补充区分：带显示一体式

型号	类别	输出配置	应用位置
ZT60	数字压力表	4~20mA 模拟量 +两路 NPN/PNP 开关量 + LED 显示	气路面板就地压力显示 + 高低压联锁报警
ZT67	小型超薄数字压力表	模拟量 + 两路比较输出	紧凑型阀箱、机台内部狭小空间安装

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