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| 品牌 | NAGANO KEIKI/日本长野 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 能源,电子/电池,航空航天,电气,半导体 |
NAGANO KEIKI长野计器半导体洁净机械压力表
NAGANO KEIKI长野计器半导体洁净机械压力表
φ50/φ60 表盘，全 SUS316L，洁净室组装
UC/EP 洁净等级，1/4 VCR 接口
用途：气体面板本地压力目视监测，机台旁就地压力表
适用：高纯气体面板、VMB 阀箱、特气供气柜；支持 UC / EP / BA 洁净等级；标准接口 1/4" VCR（9/16-18UNF） 接气部：SUS316L；精度标准 ±1.5%FS；工作温度 -10～60℃
| 主型号 | 表盘 | 安装形式 | 感压结构 | 核心特点 | 典型应用场景 |
|---|---|---|---|---|---|
| GW11 | φ50｜50mm | 径向（下出螺纹，A 框） | 波登管式 | 行业*通用标准款；体积适中；现货量大 | Gas Box、供气柜、常规阀组就地显示；搭配 ZT15 变送器配套使用 |
| GW16 | φ60｜60mm | 轴向（背部螺纹，D 框面板嵌入式） | 波登管式 | 表盘更大，读数清晰；面板安装 | 阀箱面板嵌入、设备柜体正面安装 |
| GW12 | φ60｜60mm | 径向（下出螺纹，A 框） | 波登管式 | 大表盘径向；支持高压量程*高至 100MPa | 高压特种气体管路、大宗高纯气体总管监测 |
| GW17 | φ72｜72mm | 轴向嵌入式（D 框） | 波登管式 | *大尺寸 GW 系列；远距离观察 | 大型集中供气面板、厂区总管 |
| GW28 | φ28｜28mm | 径向 / 轴向可选 | 隔膜式（重点） | 极小死体积，极易吹扫；隔膜结构无滞留死角；紧凑型 | 新一代集成 VMB 1.5 模组、密集小型阀箱、狭小安装空间、腐蚀性特气（SiH₄、卤素气体**） |
| GW35 | φ35｜35mm | 径向 / 轴向 | 波登管 | 中小型紧凑型，介于 GW28 与 GW11 之间 | 小型分体式气路模块、光电设备气路 |
| GW45 | φ45｜45mm | 径向 / 轴向 | 波登管 | 通用紧凑型，晶圆设备内置气路 | 刻蚀、PVD 机台内置辅助监测 |
核心场景
标准特气供气柜就地压力表
常规 Gas Box 气体面板
刻蚀、PVD、CVD 设备次级气路监测
大宗高纯气体（N₂、Ar、O₂、He）支路压力显示 💡定位：晶圆厂用量*大通用款，新项目标配基础款
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