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| 品牌 | CKD/日本喜开理 | 流动方向 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 3C阀门类别 | 工业 | 应用领域 | 电子/电池,航空航天,电气,半导体,机械设备 |
日本进口CKD喜开理高真空用电磁阀
日本进口CKD喜开理高真空用电磁阀
密封力和真空保持力强，适用于高真空的直动式电磁阀。
【高真空适用】
真空泄漏量1.0×10＾-9Pa・㎥/s以下，适用于高真空系统。
【轻量、紧凑】
采用薄型线圈，轻量紧凑。
【产品种类】
可从5个线圈尺寸、多个节流孔径中选择*佳规格。
【连接选择项丰富】
备有VCR兼容接头（JXR接头）、双卡套接头一体型，可保持真空容器、配管的真空度。
定位：2 通直动式高真空电磁阀、NC 常闭（通电开启） 旧型号 HVB41/HVB51/HVB61/HVB71 已停产，新项目统一选用 HVB□12 新一代 核心特征：超低泄漏、SUS316L 洁净阀体、零压差可动作，半导体 / 锂电池真空设备主力阀
表格
| 型号 | 阀体幅宽 | 可选节流孔径 | 流量等级 |
|---|---|---|---|
| HVB112 | 小型 | Φ1.6 | 微小流量，分析仪器 |
| HVB212 | 22 mm | Φ1、Φ2 | 极小流量，腔体吹扫 |
| HVB312 | 28 mm | Φ2、Φ3 | 小流量工艺气路 |
| HVB412 | 34 mm | Φ3、Φ4.5、Φ6 | 中流量，锂电池真空干燥主流 |
| HVB512 | 40 mm | Φ4.5、Φ6 | 中流量真空进气 / 排气 |
| HVB612 | 60 mm | Φ8、Φ12 | 中大流量管路 |
| HVB712 | 70 mm | Φ12、Φ15 | 大流量真空主管路 |
表格
| 项目 | 标准规格 |
|---|---|
| 阀形式 | 2 通直动式、NC 常闭（通电开） |
| 泄漏率（He 检漏） | ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s（内漏 + 外漏） |
| 驱动条件 | 直动式，0 压差即可动作（无需先导压力） |
| 阀体材质 | SUS316L 不锈钢流路不含铜 / 锌，低析出，适配洁净制程 |
| 标准密封 | FKM 氟橡胶；可选 FFKM 超高洁净密封 |
| 适用流体 | 干燥空气、氮气、氩气等惰性气体；禁止水汽、粉尘、腐蚀性气体 |
| 使用压力范围 | 真空 ～ 0.1 MPa（A 口真空侧）；耐压力*高 5 MPa |
| 流体温度 | 5～55℃（不可结冰、结露） |
| 环境温度 | 0～55℃ |
| 动作频率 | ≤10 次 / 分钟 |
| 耐久寿命 | *高 200 万次（标准工况） |
| 安装方式 | 任意方向自由安装 |
| 标准电压 | DC24V（主流）、DC12V；可选 AC100/200V |
NPT 螺纹、Rc 螺纹
JXR 接头（VCR 兼容） 半导体高纯气**
双卡套一体接头
法兰接口（大口径 HVB612/HVB712）
HVB412-6-JXR1/4-DC24V 释义：34mm 幅宽、Φ6 节流孔、1/4" JXR（VCR 兼容接头）、DC24V
超高真空低泄漏，可维持高真空腔体真空度；
洁净构造，满足锂电池、半导体低析出要求；
薄型轻量化线圈，功耗低，适合设备内置；
直动结构，真空启动阶段无*低压差限制；
接口丰富，可直接对接 VCR 真空管路。
锂电池设备 真空干燥机、注液机、化成柜真空管路、氮气吹扫阀
半导体、真空镀膜 PVD/CVD 腔体工艺进气、真空隔离阀、腔体吹扫
光学镀膜、真空热处理炉
分析仪器、电子显微镜、质谱仪真空气路
科研真空实验装置
| 型号 | 名称 | 尺寸种类 | 节流孔径 | 备注 |
|---|---|---|---|---|
| HVB112 | 高真空用电磁阀 | 尺寸1 | Φ1.6 | |
| HVB212 | 高真空用电磁阀 | 22mm宽 | Φ1, Φ2 | |
| HVB312 | 高真空用电磁阀 | 28mm宽 | Φ2, Φ3 | |
| HVB412 | 高真空用电磁阀 | 34mm宽 | Φ3, Φ4.5, Φ6 | |
| HVB512 | 高真空用电磁阀 | 40mm宽 | Φ4.5, Φ6 | |
| HVB612 | 高真空用电磁阀 | 60mm宽 | Φ8, Φ12 | |
| HVB712 | 高真空用电磁阀 | 70mm宽 | Φ12, Φ15 | |
| HVB41 | 高真空用电磁阀 | φ5 | 2019年05月31日 销售中止代替产品：HVB412系列 | |
| HVB51・HVB61・HVB71・HVB81 | 高真空用电磁阀 | 2010年03月31日 销售中止代替产品 HVB51・HVB61：HVB612系列 HVB71・HVB81：HVB712系列 |
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