产品型号
厂商性质
更新时间
浏览次数
相关文章
| 品牌 | CKD/日本喜开理 | 流动方向 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 3C阀门类别 | 工业 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
日本进口CKD喜开理GTR系列精密气体调压阀
日本进口CKD喜开理GTR系列精密气体调压阀
型号 AMB00~AMB03：金属波纹管隔绝，零渗漏，超纯水、超高纯试剂输送；
场景：CMP 研磨液供给、高纯 DI 水分配、微量药剂配比。
PMM01/PMM02：PFA 阀体，24VDC 电控，小流量药剂精准切断；
场景：小型湿制程机台药剂支路、实验室晶圆小样设备。
常见型号示例：AMB31-10-4-S、AMB21-8-5、AMB41-12-4
波纹管密封（最大特点）
驱动杆与流体区依靠一体成型 PTFE 波纹管隔离，无动密封填料，零外漏；不会出现普通隔膜阀长期疲劳撕裂、外渗风险。
接液材质
阀体 / 波纹管 / 阀座：PTFE（聚四氟乙烯）
耐强酸、强碱、双氧水、有机溶剂、光刻药液、超纯水；无金属析出，满足半导体高纯制程。
驱动形式：气动气控（Air Operate）
标准常闭 NC（通气打开、断气关闭）；可加装开 / 关位置感应开关（S 后缀型号带反馈）。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 适用流体 | 超纯水、各类酸碱药液、溶剂、氮气、洁净空气 |
| 流体温度 | 0～90℃（无冻结） |
| 使用流体压力 | 0～0.4 MPa（正向 A→B）；允许一定背压 |
| 操作气源压力 | 0.3～0.5 MPa（洁净干燥压缩空气） |
| 阀座泄漏 | 极低气泡级内漏（满足高纯药液要求） |
| 通径规格（通孔） | φ2.3 / φ3.2 / φ4 / φ6 / φ8 / φ10 / φ12 / φ16 / φ20 / φ25 |
| 连接方式 | 公制软管接头、Rc 螺纹、CKD Super300 扩口接头 |
| 环境温度 | -10～60℃ |
AMB：系列代号（波纹管药液气控阀）
31：阀体尺寸系列
10：接管外径 φ10mm
4：线圈 / 接头规格、弹簧配置
S：带位置检测传感器（阀门开闭信号反馈）
半导体：涂胶显影、湿法清洗、刻蚀药液供给、高纯化学品输送
LCD/OLED、光伏清洗药液回路
实验室生化设备、高纯试剂输送
工况要求严禁介质向外泄漏的强腐蚀管路
产品分类
上一篇
