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| 品牌 | MIYUKI/美幸辉 | 种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 压力环境 | 其他 | 工作温度 | 其他 |
| 流动方向 | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
| 类型(通道位置) | 其他 | 结构形式 | 其他 |
| 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
MIYUKI 美幸辉半导体设备标配气动真空蝶阀
MIYUKI 美幸辉半导体设备标配气动真空蝶阀
N=KF (NW) 快卸法兰；J=JIS 法兰；I=ISO‑F 法兰；C=CF 刀口法兰
通用整机参数
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 驱动方式 | 齿条‑齿轮气动（双作用标准；可选单作用弹簧复位） |
| 压力范围 | \(10^\,\text\)(常压) ~ \(10^\,\text\)(高真空)，双向可抽真空 / 破空 |
| 泄漏量 | 内漏\(\le 1\times10^\,\text^3/\text\)；轴封外漏\(\le1\times10^\,\text^3/\text\) |
| 接气材质 | 阀体 / 蝶板 / 阀杆：SUS304 镜面抛光；标准密封 FKM 氟橡胶；可选 Kalrez 全氟醚 |
| 介质温度 | FKM：‑25～120℃；Kalrez：‑30～150℃ |
| 烘烤温度 | 阀体最高 150℃；气缸严禁烘烤，环境温度≤40℃ |
| 作动气源 | 洁净无油干燥压缩空气，0.4‑0.6 MPaG |
| 位置反馈 | 标配微动开关：全开、全闭信号输出 |
| 安装 | 任意姿态（水平 / 垂直 / 倾斜无限制），薄面间、大电导流导性能好，洁净室装配低颗粒 |
半导体：腔体主抽隔离阀、真空泵切断阀、工艺管路通断；低粉尘低出气，适配晶圆制程、刻蚀、镀膜设备
光学 / 光伏镀膜：蒸发、溅射设备真空管路开关，腔体抽气隔离（慢抽泄压选 BH 系列，不要选 B 系列）
新能源锂电：极片烘干腔体、脱泡设备真空管路隔断；惰性气体管路开关
真空热处理 / 炉类：扩散炉、退火炉真空切断
科研实验室：各类高真空试验腔体、电子束设备
精细化工：惰性气体、弱腐蚀气体负压管路通断；强腐蚀介质务必升级 Kalrez 密封
| 型号系列 | 法兰类型 | 典型应用场景 |
|---|---|---|
| B‑Nxx KF | KF 快卸法兰 | 实验室设备、小型镀膜机、研发腔体、小真空泵机组、需要快速拆装管路；中小口径真空隔离切断 |
| B‑Jxx JIS | JIS 日标法兰 | 日系半导体设备、扩散炉、退火炉、锂电真空炉；原厂设备替换，日企产线标配管路切断阀 |
| B‑Ixx ISO‑F | ISO‑F 大法兰 | PVD/PECVD、等离子清洗、光伏卷对卷镀膜、大腔体主抽隔离阀；量产设备主力，大通量管路通断隔离 |
| B‑Cxx CF | CF 刀口法兰 | 超高真空腔体、电子束蒸发、科研空间模拟舱；需要高温烘烤工况，高纯 / 强腐蚀气体管路切断 |
01. 尽管尺寸很小，但气缸打开时可使推力加倍（确保可靠运行），并在行程末端提供气垫效应（减轻冲击）。
02. wan全关闭时，阀体wan全密封。
03. 安装位置或安装方向没有限制。
04. 层间距非常薄，因此具有优异的导电性能。
05. 组装和检验在洁净室中进行。
| 法兰式 | JIS、ISO、KF（NW）、CF |
|---|---|
| 口径 | 25A 至 400A |
| 泄漏 | 1× 10⁻⁹ Pa·m³ / s 或更低 |
| 使用区域 | 10⁵至10⁻⁵帕 |
| 气体接触部件的材料 | SUS304 |
| 盘式密封 | 氟橡胶O型圈 |
| 轴封 | 氟橡胶O型圈 |
| 工作气压 | 0.4–0.6 MPaG |
| 开盘/收盘指标 | 配备微动开关（用于检测开/关位置）。 |
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