简要描述：MIYUKI 美幸辉BH系列镀膜机适配气动蝶阀
其结构简单的齿轮齿条驱动系统确保了zhuo越的可靠性。就其孔径而言，其导通性能在真空阀中最高。

H = B + Half（双级开度）：在 B 系列全开 / 全关基础上增加中间小开度（慢抽位），先小开度缓慢抽气防冲击，再全开大流量抽真空。

特征

• 01. 该阀门可在两个位置操作：0 至 45 度和 90 度（wan全打开），从而允许使用单个阀门进行慢速和高速排气。

• 02. 除了标准的全闭式和全开式气缸外，该系统还具有两级结构，其气缸允许阀门开度在 0 到 45 度的范围内任意设置。

• 03. 尽管体积小，但气缸打开时推力加倍（确保可靠运行），并在行程末端提供气垫效应（减轻冲击）。

• 04. wan全关闭时，阀体wan全密封。

• 05. 安装位置或安装方向没有限制。

• 06. 层间距非常薄，因此具有优异的导电性能。

• 07. 组装和检验在洁净室中进行。

                            规格

法兰式	JIS、ISO、KF（NW）、CF
口径	25A 至 350A
泄漏	1× 10⁻⁹ Pa·m³ / s 或更低
使用区域	10⁵至10⁻⁵帕
气体接触部件的材料	SUS304
盘式密封	氟橡胶O型圈
轴封	氟橡胶O型圈
工作气压	0.4–0.6 MPaG
开盘/收盘指标	配备微动开关（用于检测开/关位置）。

通用技术参数

项目	参数
驱动方式	双气缸串联齿条齿轮（双作用标准；可选单作用弹簧复位）
开度位置	三级：全关 → 小开度慢抽（约 10~15°）→ 全开 90°
压力范围	10⁵ Pa ~ 10⁻⁵ Pa（高真空）
泄漏量	内漏 ≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s；轴封外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
阀体材质	SUS304 镜面抛光
标准密封	FKM 氟橡胶；可选 Kalrez 全氟醚
介质温度	FKM：-25～120℃；Kalrez：-30～150℃
烘烤温度	阀体最高 150℃；气缸严禁烘烤，环境≤40℃
作动气源	洁净无油干燥压缩空气，0.4~0.6 MPaG
位置反馈	标配微动开关：全开、全闭、慢抽位 三位置信号

典型应用场景

法兰系列	核心应用场景
BH-N（KF）	实验室镀膜机、小型研发腔体、精密仪器慢抽保护
BH-J（JIS）	日系半导体设备替换、扩散炉 / 退火炉慢抽、锂电真空干燥
BH-I（ISO-F）	PVD/PECVD 主抽慢抽阀、光伏卷对卷镀膜、大腔体精密工艺
BH-C（CF）	超高真空蒸发设备、电子束镀膜、空间模拟舱慢抽

重点适用工艺：

1. 半导体晶圆制程：防止气流冲击导致颗粒飞散、晶圆移位

2. 光学 / 精密镀膜：避免瞬间压差损伤膜层、防止基板破裂

3. 粉体 / 锂电材料：防冲料、防粉尘飞扬

4. 易碎工件真空处理：玻璃、陶瓷、薄膜材料的缓慢减压

5. 超高真空系统：分级抽气保护分子泵等精密设备

核心特点对比