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| 品牌 | MIYUKI/美幸辉 | 种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 压力环境 | 其他 | 工作温度 | 其他 |
| 流动方向 | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
| 类型(通道位置) | 其他 | 结构形式 | 其他 |
| 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
MIYUKI 美幸辉 BJ4系列伺服电动真空蝶阀
MIYUKI 美幸辉 BJ4系列伺服电动真空蝶阀
BJ4系列电动蝶阀是高性能、多功能伺服电机驱动阀，适用于全关闭和导流控制。它们提供多种操作模式，包括阀瓣（阀体）的全关闭和全开启、定位到任意所需位置以及可变的开启和关闭速度。
01. 单个单元即可实现wan全闭合和电导率调节。
02. 它可以从压差状态（真空 - 大气压）打开。
03. 直接电机驱动机构和高精度齿轮箱提供了优异的位置精度重复性。
04. 根据控制方法的不同，可以实现多种操作模式，例如调整开启程度和速度。
05. 适用于高流量排气应用，并具有优异的耐用性。
06. 角度指示器允许您从外部检查阀体的位置。
| 口径 | 25A 至 250A |
|---|---|
| 泄漏 | 1× 10⁻⁹ Pa·m³ / s 或更低 |
| 使用区域 | 10⁵至10⁻⁵ 帕 |
| 盘式密封 | 氟橡胶O型圈 |
| 轴封 | 氟橡胶O型圈 |
| 气体接触部件的材料 | SUS304 |
| 指标 | 包括外部角度显示指示器。 |
| 驱动系统 | 交流伺服电机（三菱电机 MR-J4 系列） |
| 选项 | 开/关检测光电传感器 |
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 驱动 | 三菱 MR‑J4 交流伺服电机 + 高精度减速齿轮箱（伺服放大器需另配） |
| 调节角度 | 0° 全关～90° 全开，任意位置定位，支持变速启闭 |
| 控制信号 | 4‑20mA / 0‑10V 模拟量；脉冲位置控制 |
| 压力范围 | \(10^5\,\text\)(常压) ~ \(10^\,\text\)(高真空)，允许压差状态直接开启阀门 |
| 泄漏量 | 内漏\(\le 1\times10^\,\text^3/\text\)；轴封外漏\(\le1\times10^\,\text^3/\text\) |
| 阀体 / 蝶板 / 阀杆 | SUS304 镜面低放气抛光 |
| 标准密封 | FKM 氟橡胶；可选 Kalrez (FFKM) 全氟醚 |
| 介质温度 | FKM：‑20～120℃；Kalrez：‑30～150℃ |
| 烘烤 | 阀体最高 150℃；伺服电机严禁烘烤，环境≤40℃ |
| 本体指示 | 外部机械角度指示器，现场可视开度 |
| 选项 | 光电位置传感器、特殊密封、特殊配线 |
| 标准型号 | 法兰类型 | 公称通径 DN (A) |
|---|---|---|
| BJ4‑J25 | JIS 日标法兰 | DN25(25A) |
| BJ4‑J40 | JIS 日标法兰 | DN40(40A) |
| BJ4‑J50 | JIS 日标法兰 | DN50(50A) |
| BJ4‑J63 | JIS 日标法兰 | DN63(65A) |
| BJ4‑J80 | JIS 日标法兰 | DN80(80A) |
| BJ4‑J100 | JIS 日标法兰 | DN100(100A) |
| BJ4‑J150 | JIS 日标法兰 | DN150(150A) |
| BJ4‑J200 | JIS 日标法兰 | DN200(200A) |
| BJ4‑J250 | JIS 日标法兰 | DN250(250A) |
同口径可替换法兰后缀：BJ4‑Nxx（KF 快卸）、BJ4‑Ixx（ISO‑F）、BJ4‑Cxx（CF 刀口）；最大口径 DN250，BJ4 无 DN300 及以上规格
半导体：腔体压力闭环控制、工艺管路节流，替代 “切断阀 + 节流阀" 两套阀件，减少泄漏点
PVD/PECVD/ 镀膜：溅射、蒸发腔体工艺压力精密稳压，膜层均匀性控制
光伏卷对卷镀膜：大腔体排气流量连续调节
真空炉、扩散炉、退火炉：炉内压力闭环调压，泄压速率可控
锂电真空工艺：干燥、脱泡腔体压力调节，缓慢泄压
科研高真空设备：流导连续可调，真空系统闭环实验控制
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