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| 品牌 | MIYUKI/美幸辉 | 种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 压力环境 | 其他 | 工作温度 | 其他 |
| 流动方向 | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
| 类型(通道位置) | 其他 | 结构形式 | 其他 |
| 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
MIYUKI 美幸辉 半导体设备适配手动真空蝶阀
MIYUKI 美幸辉 半导体设备适配手动真空蝶阀
BR：旋转回转手柄；BT：杠杆扳动手柄；无气源电源，纯手动操作，可 0‑90° 任意停位，可做切断、简易节流。BR 支持 KF/JIS/ISO‑F/CF 四种法兰；BT 仅支持 KF、JIS 法兰，最大 DN150，无 ISO‑F、CF 版本。
01. wan全关闭时，阀体wan全密封。
02. 对安装位置或安装方向没有限制。
03. 层间距非常薄，因此具有优异的导电性能。
04. 组装和检验在洁净室中进行。
通用技术参数
项目 BR / BT 系列 驱动方式 BR：回转旋转手柄；BT：杠杆扳动手柄 工作压力 \(10^5\,\text～10^\,\text\) 高真空 泄漏量 内漏\(\le1×10^\,\text^3/\text\)；轴封外漏\(\le1×10^\,\text^3/\text\) 阀体 / 蝶板 SUS304 镜面低放气抛光 标准密封 FKM 氟橡胶；可选 Kalrez 全氟醚 介质温度 FKM：‑25～120℃；Kalrez：‑30～150℃ 烘烤温度 阀体最高 150℃，手柄部分禁止烘烤 安装姿态 任意方向安装 可选配件 微动开关（开闭信号）、手柄锁止、开度指示板（二选一） BR 与 BT 对比
项目 BR（回转手柄） BT（杠杆扳动手柄） 操作手柄 旋转式回转手柄 扳动杠杆手柄，开关速度快 支持法兰 KF/JIS/ISO‑F/CF 仅 KF、JIS，不支持 ISO‑F、CF 口径范围 DN25‑DN250 DN25‑DN150 定位方式 任意角度可停，适合微调节流 主要全开全关，也可中间定位，手感档位清晰 适用 科研、大口径手动、超高真空 CF 管路、需要微调流导 设备检修隔离、实验室、中小口径频繁手动开关 应用场景
BR 系列：研发腔体、超高真空 CF 系统、镀膜设备检修隔离、需要人工微调流导；半导体设备手动旁路阀、大口径手动切断阀。
BT 系列：实验室真空机组、小型镀膜、设备维护检修隔离；不需要自动控制，靠人手开关管路通断。
系列 BR BT 法兰式 JIS、ISO、KF(NW)、CF JIS KF(NW) 口径 25A 至 250A 25A 至 150A 泄漏 1× 10⁻⁹ Pa·m³ / s 或更低 使用区域 10⁵至10⁻⁵ 帕 气体接触部件的材料 SUS304 盘式密封 氟橡胶O型圈 轴封 氟橡胶O型圈 操作方法 手动
（旋转手柄式）手动
（杠杆式）选项1
选项2开/关开关
角度指示面板，带手锁
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