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| 品牌 | MIYUKI/美幸辉 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
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MIYUKI 美幸辉 GAR系列伺服真空控制闸阀
MIYUKI 美幸辉 GAR系列伺服真空控制闸阀
GAR：伺服闸板式连续真空调压阀
N：KF (NW) 快拆法兰（研发、小型设备）
J：JIS 日标法兰（半导体晶圆设备zui常用）
I：ISO‑F 欧标大法兰（面板、大型镀膜线）
C：CF 刀口法兰（超高真空、可烘烤腔体）
数字：公称口径 A（DN）
后缀 B = 标配电磁制动刹车（标准出厂自带，断电锁阀位）
-K：Kalrez 全氟醚密封圈（耐等离子、腐蚀气体、高温）
无后缀：标准 FKM 氟橡胶密封
特征:
01. 具有优异排气特性的闸阀。
02. 支持 80A 至 400A 的多种直径。
03. 即使在停电时也能wan全密封。
04. 开启、关闭和控制操作噪音极低。
05. 可实现流量控制直至wan全关闭的结构。
06. 由于采用不锈钢磨料，气体释放量低。
规格：
| 口径 | 80A 至 400A |
|---|---|
| 工作压力范围 | 10⁵ Pa 至10⁻⁶ Pa |
内部密封件（阀门）泄漏 | 1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低 |
外部密封件（轴）泄漏量 | 1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低 |
| 气体接触部件的材料 | SUS304 |
| 阀门密封 | 氟橡胶O型圈 |
| 轴封 | 氟橡胶O型圈 |
| 耐热温度 | 主机：150℃ |
| 电机：40℃ | |
| 停电期间阀门运行* | 停止（刹车锁） |
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