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| 品牌 | Vatvalve | 种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 压力环境 | 其他 | 工作温度 | 其他 |
| 流动方向 | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
| 类型(通道位置) | 其他 | 3C阀门类别 | 工业 |
| 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
进口瑞士VAT 小型超高真空闸阀
进口瑞士VAT 小型超高真空闸阀
在所有条件下均能可靠隔离
01.0 小型超高真空闸阀系列采用 VAT 的 MONOVAT zhuan利技术，该技术旨在提供可靠的阀板密封，同时不会产生任何摩擦。利用 MONOVAT 技术，阀板密封经硫化处理 后可实现更可靠和持久的密封性，并在低颗粒产生量和 释气性方面具有优异的性能。
MONOVAT 的特殊软关闭 机制可最大限度地减少快速移动的阀板接触阀体对过程造成的潜在冲击影响。不含润滑剂、无真空阀门机构、可 达到 250℃ 的烘烤温度和特殊的清洁选项，消除了过程污染的风险。
凭借其模块化设计和各种设计选项，01.0 系列几乎可以 根据每一项需求进行定制，甚至在安装后也能提供多种 更新选项，例如不同的驱动或阀板。
01.0 系列已经安装在数千个各种工艺条件下的要求 苛刻的应用中，证明了其zhuo越的可靠性。其已成为 DN 16–50 mm (5/8"–2") 尺寸的超高真空隔离标准。
01.0 小型超高真空闸阀主要特点
特点：可靠、坚固的模块化设计避免产生颗粒的 MONOVAT 技术不含润滑剂，最高可烘烤至 250℃进给机构以焊接金属波纹管密封坚固的不锈钢外壳
优势：性能可靠 升级选项 维护量少，可轻松维护 购置成本低。
| 型号编号 | 通径 | 驱动方式 | 标配配置 |
|---|---|---|---|
| 01024-KE01 | DN16 | 手动 | 无电磁阀、无位置感应、KF 法兰 |
| 01024-KE22 | DN16 | 气动常开 NO | 位置感应、无电磁阀、KF 法兰 |
| 01024-KE41 | DN16 | 气动常闭 NC | 位置感应 + 内置电磁阀 |
| 01028-KE24 | DN25 | 双作用气动 | 位置感应、无电磁阀（zui常用工业款） |
| 01028-KE44 | DN25 | 双作用气动 | 位置感应 + 电磁阀 |
| 01032-KExx | DN40 | 全驱动可选 | 手动 / 单作用 / 双作用气动 |
| 01036-KExx | DN50 | 全驱动可选 | 手动 / 单作用 / 双作用气动 |
半导体设备
真空传输腔、腔体旁路抽气阀、检漏隔离阀、离子注入、ALD 原子层沉积小管路隔断；芯片检测设备超高真空腔体隔离。
科研实验室
电子显微镜（TEM/SEM）、同步辐射、表面物理实验、超高真空样品预处理腔体、质谱仪管路隔断。
精密镀膜
光学镀膜、磁控溅射小腔体、科研级 PVD，要求低放气、洁净无颗粒工况。
通用工业
氦检设备、检漏仪隔断阀、高真空分子泵入口隔离阀。
| 尺寸 | DN 16 – 50 mm (5/8" – 2") | ||
|---|---|---|---|
| 驱动器 | 气动 | 带闭合弹簧 (NC) 或开启弹簧 (NO) 的单作用，或双作用 | |
手动 | 带转动手柄 | ||
| 阀体材料 | 不锈钢 | ||
| 进给机构 | 波纹管 | ||
| 标准法兰 | ISO-KF、CF-F | ||
泄露率 | 阀体 | < 5 × 10-10 mbar ls-1 | |
阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| 压力范围 | 1 × 10-10 mbar 至 2 ba（r 绝对压强） | ||
| 压差 | 阀板 | ≤ 2 bar | |
| 打开时 | ≤ 30 mbar | ||
| shou次维护前开关次数 | 50 000 | ||
| 温度 | 阀体 | ≤ 250 °C 打开 / ≤ 200 °C 关闭 | |
| 气动驱动器 | ≤ 200 °C | ||
| 电磁阀 | ≤ 50 °C | ||
| 位置指示器 | ≤ 80 °C | ||
| 手动驱动器 | ≤ 250 °C | ||
| 加热和冷却速率 | ≤ 50 °C h-1 | ||
| 材质 | 阀体 | AISI 304 (1.4301), AISI 316L (1.4435) | |
| 机构 | AISI 304 (1.4301) | ||
| 波纹管 | AISI 316L (1.4435) | ||
| 密封 | 阀帽 | 金属 | |
| 阀板 | 氟橡胶 | ||
| 安装位置 | 任何位置 | ||
| 电磁阀 | 驱动器、带闭合或开启弹簧 | 24 VDC, 9.0 W (可根据要求提供其他值) | |
| 驱动器、双作用 | 24 VDC, 5.4 W (可根据要求提供其他值) | ||
| 位置指示器、触点额定值 | 电压 | ≤ 250 VAC | ≤ 50 VDC |
| 电流 | ≤ 5 A | ≤ 3 A | |
| 阀门位置指示器 | 视觉（机械） | ||
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