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| 品牌 | Vatvalve | 种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 压力环境 | 其他 | 工作温度 | 其他 |
| 流动方向 | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
| 类型(通道位置) | 其他 | 3C阀门类别 | 工业 |
| 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
进口瑞士VAT 小口径衍生小型闸阀
进口瑞士VAT 小口径衍生小型闸阀
在所有条件下均能可靠隔离
01.0 小型超高真空闸阀系列采用 VAT 的 MONOVAT zhuan利技术，该技术旨在提供可靠的阀板密封，同时不会产生任何摩擦。利用 MONOVAT 技术，阀板密封经硫化处理 后可实现更可靠和持久的密封性，并在低颗粒产生量和 释气性方面具有优异的性能。
MONOVAT 的特殊软关闭 机制可最大限度地减少快速移动的阀板接触阀体对过程造成的潜在冲击影响。不含润滑剂、无真空阀门机构、可 达到 250℃ 的烘烤温度和特殊的清洁选项，消除了过程污染的风险。
凭借其模块化设计和各种设计选项，01.0 系列几乎可以 根据每一项需求进行定制，甚至在安装后也能提供多种 更新选项，例如不同的驱动或阀板。
01.0 系列已经安装在数千个各种工艺条件下的要求 苛刻的应用中，证明了其zhuo越的可靠性。其已成为 DN 16–50 mm (5/8"–2") 尺寸的超高真空隔离标准。
01.0 小型超高真空闸阀主要特点
特点：可靠、坚固的模块化设计避免产生颗粒的 MONOVAT 技术不含润滑剂，最高可烘烤至 250℃进给机构以焊接金属波纹管密封坚固的不锈钢外壳
优势：性能可靠 升级选项 维护量少，可轻松维护 购置成ben低。
通径：DN50
真空：1×10⁻⁷ mbar，扁平嵌入式结构，安装空间极小
用途：设备腔体夹层、狭小机箱内置隔离，半导体设备紧凑型模组专用。
真空：1×10⁻⁸ mbar，楔形防颗粒结构，耐轻微腐蚀性工艺气体
用途：刻蚀设备尾气管路、有粉尘 / 微量腐蚀气体的真空隔断。
全金属波纹管密封，烘烤 250℃，对标 01.0，更耐用，多用于长期连续运行科研设备、EUV 配套小管路。
系列选型对比
| 系列 | 真空等级 | 洁净度 | 耐温 | 定位 | shou选场景 |
|---|---|---|---|---|---|
| 01.0 | UHV 10⁻¹⁰mbar | ji高、低颗粒低放气 | 250℃ | gao端精密、半导体 / 科研 | 芯片制程、电镜、高精度镀膜 |
| 01.2 | HV 10⁻⁷mbar | 良好 | 180℃ | 经济型量产通用 | 真空泵组、光伏、常规工业真空 |
| 09.1 | HV 10⁻⁸mbar | 防粉尘抗腐蚀 | 180℃ | 恶劣工况 | 刻蚀、含颗粒物工艺管路 |
| 08.2 | HV 10⁻⁷mbar | 常规 | 150℃ | ji致省空间 | 狭小设备内置安装 |
前道：刻蚀、ALD、CVD 设备旁路阀、预抽阀、腔体隔离阀；检测设备超高真空隔断；
传输：集群设备（Cluster）小型传输闸阀，单腔体维护隔离，无需整线破空；
真空系统：分子泵、离子泵入口保护阀。
| 尺寸 | DN 16 – 50 mm (5/8" – 2") | ||
|---|---|---|---|
| 驱动器 | 气动 | 带闭合弹簧 (NC) 或开启弹簧 (NO) 的单作用，或双作用 | |
手动 | 带转动手柄 | ||
| 阀体材料 | 不锈钢 | ||
| 进给机构 | 波纹管 | ||
| 标准法兰 | ISO-KF、CF-F | ||
泄露率 | 阀体 | < 5 × 10-10 mbar ls-1 | |
阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| 压力范围 | 1 × 10-10 mbar 至 2 ba（r 绝对压强） | ||
| 压差 | 阀板 | ≤ 2 bar | |
| 打开时 | ≤ 30 mbar | ||
| shou次维护前开关次数 | 50 000 | ||
| 温度 | 阀体 | ≤ 250 °C 打开 / ≤ 200 °C 关闭 | |
| 气动驱动器 | ≤ 200 °C | ||
| 电磁阀 | ≤ 50 °C | ||
| 位置指示器 | ≤ 80 °C | ||
| 手动驱动器 | ≤ 250 °C | ||
| 加热和冷却速率 | ≤ 50 °C h-1 | ||
| 材质 | 阀体 | AISI 304 (1.4301), AISI 316L (1.4435) | |
| 机构 | AISI 304 (1.4301) | ||
| 波纹管 | AISI 316L (1.4435) | ||
| 密封 | 阀帽 | 金属 | |
| 阀板 | 氟橡胶 | ||
| 安装位置 | 任何位置 | ||
| 电磁阀 | 驱动器、带闭合或开启弹簧 | 24 VDC, 9.0 W (可根据要求提供其他值) | |
| 驱动器、双作用 | 24 VDC, 5.4 W (可根据要求提供其他值) | ||
| 位置指示器、触点额定值 | 电压 | ≤ 250 VAC | ≤ 50 VDC |
| 电流 | ≤ 5 A | ≤ 3 A | |
| 阀门位置指示器 | 视觉（机械） | ||
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