产品型号
厂商性质
更新时间
浏览次数
相关文章
| 品牌 | Vatvalve | 种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 压力环境 | 其他 | 工作温度 | 其他 |
| 流动方向 | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
| 类型(通道位置) | 其他 | 3C阀门类别 | 工业 |
| 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
进口瑞士VAT 08.1 可嵌入插入式高真空闸阀
进口瑞士VAT 08.1 可嵌入插入式高真空闸阀
在所有条件下均能可靠隔离
01.0 小型超高真空闸阀系列采用 VAT 的 MONOVAT zhuan利技术，该技术旨在提供可靠的阀板密封，同时不会产生任何摩擦。利用 MONOVAT 技术，阀板密封经硫化处理 后可实现更可靠和持久的密封性，并在低颗粒产生量和 释气性方面具有优异的性能。
MONOVAT 的特殊软关闭 机制可最大限度地减少快速移动的阀板接触阀体对过程造成的潜在冲击影响。不含润滑剂、无真空阀门机构、可 达到 250℃ 的烘烤温度和特殊的清洁选项，消除了过程污染的风险。
凭借其模块化设计和各种设计选项，01.0 系列几乎可以 根据每一项需求进行定制，甚至在安装后也能提供多种 更新选项，例如不同的驱动或阀板。
01.0 系列已经安装在数千个各种工艺条件下的要求 苛刻的应用中，证明了其zhuo越的可靠性。其已成为 DN 16–50 mm (5/8"–2") 尺寸的超高真空隔离标准。
01.0 小型超高真空闸阀主要特点
特点：可靠、坚固的模块化设计避免产生颗粒的 MONOVAT 技术不含润滑剂，最高可烘烤至 250℃进给机构以焊接金属波纹管密封坚固的不锈钢外壳
优势：性能可靠 升级选项 维护量少，可轻松维护 购置成ben低。
通径数字：36=DN63、38=DN80、40=DN100
后缀 FA 定义：
FA03：手动推杆，无位置感应、无电磁阀
FA24：双作用气动，带 24VDC 位置传感器、无内置电磁阀（PLC 外接气控主流）
FA44：双作用气动，内置 24VDC 电磁阀 + 双位置感应（一体化远程自控）
| 标准型号 | 驱动方式 | 配置说明 | 行业定位 |
|---|---|---|---|
| 08136-FA03 | 手动推杆 | 无感应、无电磁阀 | 设备检修、低频手动隔断 |
| 08136-FA24 | 双作用气动 | 带位置感应、无电磁阀 | 半导体腔体、泵组标配款 |
| 08136-FA44 | 双作用气动 | 内置电磁阀 + 双感应 | 自动化产线远程集中控制 |
| 标准型号 | 驱动方式 | 配置说明 | 行业定位 |
|---|---|---|---|
| 08138-FA03 | 手动推杆 | 无感应、无电磁阀 | 腔体维护隔离 |
| 08138-FA24 | 双作用气动 | 位置感应、无电磁阀 | 刻蚀、PECVD、真空机组通用主力 |
| 08138-FA44 | 双作用气动 | 电磁阀 + 双位置感应 | 整线自动化闭环控制 |
| 标准型号 | 驱动方式 | 配置说明 | 行业定位 |
|---|---|---|---|
| 08140-FA03 | 手动推杆 | 无感应、无电磁阀 | 大腔体检修隔断 |
| 08140-FA24 | 双作用气动 | 位置感应、无电磁阀 | 主抽管路、真空泵站隔离 |
| 08140-FA44 | 双作用气动 | 电磁阀 + 双感应 | 大型镀膜、光伏量产设备 |
FFKM 耐腐蚀密封款：型号后缀追加 -PE
例：08136-FA24-PE、08138-FA44-PE，适配微量卤素、酸性工艺气体
加长气缸 / 90° 转向气缸：后缀 -L90，狭小侧向安装
带预抽旁路接口：后缀 -PV，腔体预抽泄压专用
低速缓冲*款：后缀 -SL，高频启停降噪、防冲击
| 型号 | 通径 | 开关时长 | 流导 (L/s) | 整机重量 |
|---|---|---|---|---|
| 08136-FAXX | DN63 | 1.5s | 1000 | 2.3kg |
| 08138-FAXX | DN80 | 1.7s | 2000 | 2.5kg |
| 08140-FAXX | DN100 | 2.0s | 3200 | 3.8kg |
| 尺寸 | DN 63 (2½’’), DN 80 (3’’), DN 100 (4") | ||
|---|---|---|---|
| 驱动器 | 气动 | 双作用 | |
| 手动 | 带推杆 | ||
| 阀体材料 | 铝 | ||
| 馈通件 | 轴 | ||
| 安装 | DIN 定心环 | ||
| 泄漏率 | 阀体 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | |
| 阀座 | < 1 × 10-9 mbar ls-1 | ||
| 压力范围 | 1 × 10-7 mbar to 1.6 bar （绝对压强） | ||
| 压差 | 阀板上 | ≤ 1.6 bar | |
| 打开时 | ≤ 30 mbar | ||
| shou次维护前开关次数 | 20万次 | ||
| 温度 | 阀体 | ≤ 120 °C | |
| 驱动器 | ≤ 80 °C | ||
| 电磁阀 | ≤ 50 °C | ||
| 位置指示器 | ≤ 80 °C | ||
| 加热和冷却速率 | ≤ 30 °C h-1 | ||
| 材料 | 阀体 | EN-AW-6061 (3.3211) | |
| 机构 | AISI 304 (1.4301) | ||
| 密封 | 阀盖、阀板 | 氟橡胶 | |
| 安装位置 | 任何位置 | ||
| 电磁阀 | 24 VDC, 5.4 W（可根据要求提供其他值） | ||
| 位置指示器：触点额定值 | 电压 | ≤ 250 VAC | ≤ 50 VDC |
| 电流 | ≤ 2 A | ≤ 1.2 A | |
| 阀门位置指示 | 视觉（机械） | ||
产品分类
上一篇
