产品型号
厂商性质
更新时间
浏览次数
相关文章
| 品牌 | Vatvalve | 种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 压力环境 | 其他 | 工作温度 | 其他 |
| 流动方向 | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
| 类型(通道位置) | 其他 | 3C阀门类别 | 工业 |
| 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
进口瑞士VAT 09.1楔形设计的高真空闸阀
进口瑞士VAT 09.1楔形设计的高真空闸阀
如果气流中副产品的比例较高，形成的沉积物可能会导致阀门故障以及计划外的维护工作。09.1 采用楔形设计的高真空闸阀可避免这一问题。得益于其具有自清洁功能的特殊楔形设计，即便阀座上有大量沉积，该高真空闸阀依然可以平稳地打开和关闭。由于阀板的楔形设计，可能产生的沉积物会被专门推离阀座或闸封，以始终保证可靠的密封性。
09.1 高真空闸阀在压差高达 1 bar 的情况下可以wan全正常运转。
09.1 采用楔形设计的高真空闸阀已经安装在数千个各种工艺条件下的要求苛刻的应用中，证明了其zhuo越的可靠性。特别是在次金圆厂应用中，它已经成为真空泵隔离的标准解决方案。该闸阀拥有多种设计选项，可以轻易集成到任何应用中。
楔形结构核心优势
自清洁刮擦：开合过程楔形斜面自动刮除阀座粉末、沉积物，杜绝颗粒卡阀、密封划伤；
大开压差开启：常规闸阀仅允许≤30mbar 压差开启，09.1 可1bar 压差直接开阀，容错性ji强；
楔紧自锁密封：关闭后斜面挤压锁紧，全关承压稳定至 1.2bar，负压 / 正压密封一致性好；
波纹管动密封：阀杆波纹管隔绝腔体，无外泄漏，氦漏率极低。
| 项目 | 标准参数 | 补充说明 |
|---|---|---|
| 真空区间 | \(1×10^\ \text～1.2\ \text\) | 工业高真空 HV，不适用 UHV 超高真空 |
| 整机氦漏率 | \(＜1×10^\ \text\) | 半导体洁净标准 |
| 阀板承压 | 全关静态最大压差 1.2bar | 长期工况稳定耐压 |
| 允许开启压差 | ≤1bar | 行业同类阀顶尖水平 |
| 阀体材质 | 304 不锈钢；波纹管 AM350 高强不锈钢 | 耐微量酸碱、等离子腐蚀 |
| 标准密封 | FKM 氟橡胶；可选 FFKM 全氟橡胶 | FFKM 适配卤素、蚀刻腐蚀性气体 |
| 耐温上限 | 阀体≤150℃；气缸≤100℃；电磁阀≤50℃ | 不可 200℃以上高温烘烤 |
| 驱动气源 | 4~7bar 压缩空气；电磁阀标准 24VDC | 可定制 110V/220V 交流 |
| 循环寿命 | 常规≥25 万次，粉尘工况寿命远超 01.2/08.1 | |
| 安装方式 | 任意角度（水平、竖直倒装均可） |
产品分类091+通径代码-法兰后缀+驱动配置通径数字代码
34=DN50、36=DN63、38=DN80、40=DN100、42=DN160、44=DN200
法兰后缀
KE：ISO-KF 快拆法兰
CE：CF 超高真空刀口法兰
PE：ISO-F 标准真空法兰
UE：UNF 美标 CF 法兰
JE：JIS 日标法兰
驱动配置后缀
01：手动曲柄，无位置感应、无电磁阀
24：双作用气动，带 24VDC 位置传感器，无内置电磁阀（PLC 主流）
44：双作用气动，内置电磁阀 + 双位置感应，一体化自控
08：手动 + 简易位置反馈
| 标准型号 | 法兰类型 | 驱动方式 | 配置 | 重量 |
|---|---|---|---|---|
| 09134-KE01 | ISO-KF | 手动曲柄 | 无感应无电磁阀 | 2.9kg |
| 09134-KE24 | ISO-KF | 双作用气动 | 位置感应、无电磁阀 | 3.0kg |
| 09134-KE44 | ISO-KF | 双作用气动 | 内置电磁阀 + 感应 | 3.2kg |
| 09134-CE01 | CF-F 公制 | 手动 | 科研小腔体 | 2.95kg |
| 09134-CE24 | CF-F 公制 | 气动带感应 | 精密工艺管路 | 3.1kg |
| 型号 | 法兰 | 驱动配置 |
|---|---|---|
| 09136-KE01 | KF | 手动 |
| 09136-KE24 | KF | 气动带感应 |
| 09136-UE44 | UNF 美标 CF | 电磁阀一体式 |
| 型号 | 法兰 | 用途定位 |
|---|---|---|
| 09138-PE01 | ISO-F | 手动检修隔断 |
| 09138-PE24 | ISO-F | 半导体刻蚀标配气动阀 |
| 09138-KE44 | KF | 自动化产线远程控制 |
| 型号 | 法兰 | 配置 |
|---|---|---|
| 09140-PE01 | ISO-F | 手动 |
| 09140-PE24 | ISO-F | 气动双感应 |
| 09140-JE24 | JIS 日标 | 日系设备配套 |
DN160：09142-PE01、09142-PE24
DN200：09144-JE01、09144-PE44
多用于大型镀膜、真空机组总隔离阀
耐腐蚀款：后缀-PE-FKM→-PE-FFKM，全氟橡胶密封，适配 Cl₂、HF 等蚀刻气体；
软抽泄压：后缀-PV，阀体集成预抽旁路；
高温防护：后缀-HT，阀体加热套，维持 120℃防粉末冷凝；
低速*：后缀-SL，缓冲气缸，高频启停降噪防冲击。
刻蚀设备：干法蚀刻腔体尾气隔离阀、腔室隔断阀，硅粉、聚合物粉尘工况；
PECVD/LPCVD：薄膜沉积工艺管路，反应物沉积物多，防卡阀；
真空机组：干泵、罗茨泵前级保护阀，启停压差大，适配 1bar 开阀特性；
Cluster 集群设备：工艺腔与传输腔隔离，单腔体维护无需整线破空。
OLED、LCD 面板蒸镀、刻蚀腔体隔断；
光伏硅片镀膜、制绒设备，浆料、硅粉尘管路控制；
卷绕镀膜设备分段真空隔离。
锂电池：极片烧结、电解液真空脱气，挥发物易结晶工况；
真空热处理、粉末冶金真空炉尾气阀；
氦检设备、工业检漏系统旁路隔断。
上一篇
