简要描述：进口瑞士VAT 21.4 迷你电磁角阀内联直通阀
角阀/内联阀的关键性能指标是可靠性与可变性。21.4 迷你角阀/内联阀系列结合了可靠性和可变性。21.4系列已经在各种工艺条件下进行了数千次要求苛刻的应用测试，证明了其zhuo越的可靠性。凭借其电磁驱动器，它能在无法获得压缩空气的应用中满足密封和通风要求。该系列有角阀和内联阀设计选项，并配有多种法兰连接器和适配器配件，几乎可满足各种要求。

一、产品定位核心概述

核心亮点

1. 电磁直驱：无需空压机气源，DC24V 电控即可开关，适配密闭模组、便携设备；

2. ji致小巧：整机仅 0.16kg，安装空间极小，可密集集成模组；

3. 高压差耐受：最高 1bar 压差直接开启，耐压最高 10bar 绝压；

4. 长寿命免维护：标准 200 万次稳定循环，低漏率满足半导体洁净标准；

5. 波纹管阀杆密封，无外泄漏，低放气。

二、标准基础技术参数

基础标准主力型号（工业 / 半导体通用标配）

1、21414 角阀（L 型侧向安装，泄压、取样、支路隔断）

2、21424 内联直通阀（同轴直管路，细抽、直线通断）

三、转接适配器衍生配套型号（接口拓展，阀体本体不变）

1. 21414-XE64-OD6：阀体 + OD6 铜管卡套接头

2. 21414-XE64-1/4in：阀体 + 1/4 英寸卡套接头

3. 21424-XE64-DN8：KF5 转 KF8 转接法兰一体式

4. 21424-XE64-DN10：KF5 转 KF10 转接法兰一体式

五、半导体行业细分运用场景

1、ALD 原子层沉积（最高频使用）

适用点位

• 前驱体气瓶微量吹扫支路隔断阀；

• 腔体微型预抽泄压阀、脉冲进气控制阀；

• 腔体检漏旁路隔离阀；

• 负载锁微小泄压平衡阀。

选型

2、干法刻蚀设备

1. 腔体微泄压平衡阀，腔体破kong前缓慢泄压，保护晶圆不被气流冲击；

2. 等离子清洗微量工艺气旁路开关；

3. 尾气取样检测管路隔断。

3、PVD 溅射、光学镀膜设备

• 溅射腔真空计保护阀，防止粉尘倒灌污染真空规管；

• 蒸镀机微量惰性气体进气微调隔断；

• 多腔体集群微小均压阀。

4、真空机组与真空泵配套

1. 分子泵、离子泵前级细抽旁路阀；

2. 检漏仪微量取样隔离阀；

3. 干泵防反油微型截止阀。

5、晶圆检测、分析仪器

6、优良封装、MiniLED 设备

1. 晶圆键合腔体缓慢泄压阀；

2. 等离子活化微小气路控制阀；

3. 微型真空模组密集集成管路通断。

六、镀膜行业全场景应用

1. PECVD/LPCVD

   硅片镀膜腔体缓慢泄压，避免硅粉扬尘；微量工艺气体支路通断。

2. OLED 有机蒸镀

   有机腔体低温微泄压，杜绝有机材料挥发污染；传输腔微小均压阀。

3. 光伏 HJT/TOPCon

   管式沉积设备旁路检漏阀、真空规保护阀。

七、科研 & 通用工业场景

1. 实验室小型真空腔体、小型质谱、低温腔体泄压隔离；

2. 氦检设备、便携式真空检漏仪微型阀门；

3. 锂电池真空脱泡、微量电解液注气控制。