24.4 系列已经在各种工艺条件下进行了数千次要求苛刻的应用测试，证明了其zhuo越的可靠性。凭借驱动、法兰连接、阀体材料或密封方面的各种设计选项，该系列几乎可以满足所有要求。
24.4 系列适用于真空系统抽气和排气。它能够承受高压差，其模块化设计意味着可以根据各种工艺和操作要求进行调整。24.4 系列具有出色的可靠性和较长的使用寿命。

基于可靠和坚固的核心设计，24.4 角阀为从手动到气动的驱动提供了大量设计选项。24.4 系列提供 DN为10 至 800 mm (0.4" - 32") 的多种尺寸，并且可以选择各种规格的铝或不锈钢材质。“全铝"解决方案在腐蚀性气体的所选应用中具有优势。
法兰连接器的标准选项为 ISO-KF 和 ISO-K。虽然可以添加电气指示器作为选件，但视觉位置指示才是标配。如果需要，阀门可以由设备上或远距离位置的电磁阀控制。24.4 系列可以在不同的温度条件下使用，具体取决于所选的密封弹性体。该阀门可以常开、常闭或实现双作用。除了这些标准选项以外，还可以进一步进行定制。

一、产品核心定位

24.4 是 VAT通用大流量气动 90° 角阀，主打宽口径、高压差、耐高温、模块化，口径覆盖 DN10~DN800，是半导体、真空镀膜前级抽气、腔体旁路、负载锁主流标配；对比 21.4 电磁迷你阀：24.4 依靠压缩空气气动驱动、流量更大、耐温更高、耐压更强；21.4 为 DN5 电磁微阀，仅做微小泄压取样。

核心结构优势

直通 L 型流道、低流阻、大流量，轻微粉尘具备自清洁效果；
阀杆波纹管密封，外泄漏极低、低析出、低颗粒；
支持1bar 压差开阀，关阀静态耐压最高 5bar；
阀体最高 150℃长期耐温，适配腔体常规加热工况；
驱动可选手动 / 单作用弹簧常闭 / 常开、双作用气动，可集成电磁阀、位置传感器。

二、通用基础技术参数

参数项目	标准指标	补充说明
压力适用区间	\(1×10^\ \text～5\ \text\)	高真空～常压高压全覆盖
整机氦漏率	\(＜1×10^\ \text\)	半导体洁净制程合格
允许开启压差	≤1 bar	常规闸阀仅 30mbar，压差适配预抽泄压
关阀最大耐压	5bar 静态承压
耐温上限	阀体≤150℃；气缸执行器≤120℃；感应器≤80℃	不可 250℃高温烘烤
驱动气源	4.5~7bar 洁净干燥压缩空气
循环寿命	常规≥30 万次，量产线长期稳定
标准密封	FKM 氟橡胶；可选 FFKM 全氟橡胶	FFKM 耐卤素、HF、Cl₂腐蚀气体
法兰标准	ISO-KF 快拆、ISO-F、CF 刀口、JIS 日标

行业高频爆款清单（半导体 / 镀膜常备）

全制程通用小口径：24428-KA24（DN25）
刻蚀 / PVD/PECVD 主力：24438-KA24（DN80）
腐蚀工艺专用：24438-KA24-FFKM
日系设备配套：24436-JE24、24440-JE24
研发精密腔体：24434-CE24、24438-CE24
一体化电控：24428-KA31、24438-KA44

基础通用参数

压力区间：\(1×10^\ \text～5\ \text\)绝压
开阀最大压差：1bar；关阀静态耐压：5bar
耐温：阀体≤150℃，气缸≤120℃，传感器≤80℃
气源：4~7bar 干燥洁净压缩空气
标准密封：FKM，可选 FFKM 全氟耐腐蚀密封

尺寸			DN 10-250mm (⅜"-10")
驱动器	手动		带可拆卸方向盘
	气动		带闭合弹簧 (NC) 或开启弹簧 (NO) 的单作用或双作用
阀体材料			铝或不锈钢
馈通件			轴馈通件
标准法兰			ISO-KF, ISO-K
泄漏率	阀体、阀座		< 1 × 10-9 mbar ls-1
压力范围		DN 10 – 50 DN 63 – 80 DN 100 – 160 DN 200 – 250	1 × 10-7 mbar to 5 bar(绝对压强) 1 × 10-7 mbar to 4 bar (绝对压强) 1 × 10-7 mbar to 2 bar (绝对压强) 1 × 10-7 mbar to 1.6 bar (绝对压强)
阀板可承受压差	开启方向	DN 10 – 50	≤ 2.0 bar
阀板可承受压差	关闭方向	DN 63 – 250 DN 10 – 50 DN 63 – 80 DN 100 – 160 DN 200 – 250	≤ 1.2 bar ≤ 5.0 bar ≤ 4.0 bar ≤ 2.0 bar ≤ 1.6 bar
打开时可承受压差			≤ 1 bar
维护前开关次数	带手动驱动器的阀门	DN 10 – 80	1万次
维护前开关次数	带气动驱动器的阀门	DN 10 – 80 DN 100 – 160 DN 100 – 160 DN 200 – 250	3 百万次(NC, NO) 1 百万次 (NC, NO) 2 百万次 (双作用) 1 百万次 (双作用)
温度	阀体		≤ 150 °C
	手动和气动驱动器		≤ 120 °C
	电磁阀和位置指示器	DN 10 – 80 DN 100 – 250
	电磁阀和位置指示器	DN 10 – 80 DN 100 – 250	≤ 80 °C ≤ 50 °C
材料	铝阀体	DN 16 – 63	EN AW-6060 (3.3206), EN AW-6061 (3.3211),
	不锈钢阀体	DN 80 – 160 DN 10 – 250	EN AW-6063 (3.3206), EN AW-6082 (3.2315)
	阀板	DN 10 – 160 DN 200 – 250	EN AC-42000 AISI 316L (1.4404) AISI 316L (1.4404, 1.4435) AISI 304 (1.4301)
密封	阀盖、阀板
安装位置			任何位置
电磁阀		DN 10 – 80 DN 100 – 250	24 VDC, 2.5 W (可根据要求提供其他值) 24 VDC, 1.0 W (可根据要求提供其他值)
位置指示器：触点额定值	电压	DN 10 – 160 DN 200 – 250	5 – 50 VAC / DC ≤ 50 VAC / DC
位置指示器：触点额定值	电流	DN 10 – 160 DN 200 – 250	5 – 100 mA ≤ 1.2 A
阀门位置指示			视觉（机械）

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简要描述：进口瑞士VAT 24.4气动真空角阀
角阀的关键性能指标是可靠性与可变性。24.4 角阀系列结合了可靠性和可变性。该系列旨在针对高污染甚至轻微污染的气流实现大尺寸建造。目前已生产出 DN 高达 800 mm (32“) 的角阀。

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