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| 品牌 | IKC/入江工研 | 种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 压力环境 | 其他 | 工作温度 | 真空 |
| 流动方向 | 其他 | 零部件及配件 | 其他 |
| 类型(通道位置) | 其他 | 3C阀门类别 | 工业 |
| 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
IKC入江工研双面密封方形真空闸阀
IKC入江工研双面密封方形真空闸阀
KOSLAZE-D 是 IKC 在单面密封基础上升级的双圈独立密封抬升平移矩形闸阀，是半导体 12 英寸优良制程量产核心标配，核心亮点：密封圈检修可不停机破两侧腔体真空，依靠中间夹层泄压维保，zui大程度提升设备稼动率，全程无滑动低发尘结构不变
开阀：阀板水平平移脱离密封面→垂直抬升，wan全让出方形通口，腔体全通；
关阀：阀板下落贴合法兰→压差锁紧，前后密封圈分别压紧左右两侧腔体法兰，双向隔绝真空。
阀门关闭、两侧腔体保持真空；
仅对中间夹层单独泄压至常压，两侧工艺腔、传输腔真空全程保留；
拆开阀体侧盖，单独更换单侧老化密封圈；
夹层复抽真空，阀门恢复密feng锁止，产线不间断生产。
| 型号 | 方形通口尺寸 | 法兰外形 | 适用场景 |
|---|---|---|---|
| KS-Ⅰ-D-5.125 | 5.125 英寸 | 130×130mm | 小型老旧 Loadlock 检修隔断 |
| KS-Ⅰ-D-6 | 6 英寸 | 152×152mm | 6 英寸老旧镀膜设备改造 |
| KS-Ⅰ-D-8 | 8 英寸 | 203×203mm | 早期 8 英寸刻蚀、PVD 腔体 |
| KS-Ⅰ-D-12 | 12 英寸 | 305×305mm | 老式 12 英寸试验设备 |
寿命：≥400 万次；阀体厚重、刚性强，缺点体积大、动作偏慢。
| 型号 | 通口规格 | 细分定制版本 | 核心用途 |
|---|---|---|---|
| KS-Ⅱ-D-5.125 | 5.125" | 标准 / HT 高温 / C 耐腐蚀 | 离子注入机、检测设备小隔断 |
| KS-Ⅱ-D-6 | 6" | 标准 / HT | 6 英寸功率半导体产线 |
| KS-Ⅱ-D-8 | 8" | 标准 / HT/C | 8 英寸 IGBT、MOS、成熟制程主隔断 |
| KS-Ⅱ-D-12 | 12" | 标准 / HT/C | 12 英寸 28nm~7nm 优良制程传输腔 |
HT 高温款：KS-Ⅱ-D-X-HT，最高 200℃烘烤；
C 耐腐蚀款：KS-Ⅱ-D-X-C，氟醚密封圈、电解抛光阀体，耐卤素等离子腐蚀；
寿命：常规 600~800 万次，加强版 1000 万次。
结构：气缸侧向安装，阀体厚度相比 KS-Ⅱ-D 缩减 30%；
特点：轻量化、安装紧凑，法兰尺寸与标准版通用，可直接替换老款闸阀；
寿命：≥600 万次；
适用：紧凑型多腔体机台、探针台、MiniLED 蒸镀设备。
KOSLAZE-M-D：手动双面闸阀，手轮驱动，实验室备用检修阀；
KOSLAZE-E-D：电动伺服双面闸阀，无气源车间、科研精密真空；
GARIVA-D：超大尺寸双面闸阀，14~22 英寸，G6/G10.5 面板产线专用。
12 英寸优良制程：KS-Ⅱ-D-12、CKS-Ⅱ-D-12
场景：刻蚀机、ALD、CVD、PVD、离子注入、中央传输腔 Cluster 集群；不停机维保保障晶圆量产稼动率。
8 英寸功率半导体：KS-Ⅱ-D-8
场景：IGBT、碳化硅、光伏芯片、MOSFET 生产线腔体隔断。
芯片检测设备：CKS-Ⅱ-D-5.125/6
场景：探针台、光学缺陷检测、真空测试腔体。
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